半導體曝光機

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半導體曝光機

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半導體曝光機設備是做什麼用的? | Yahoo奇摩知識+

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微影

優點:以接觸式方式這種曝光機對晶片執行曝光時,光罩. 上與晶片的表面 ... 觸,而是以類似投影機將投影片上的文 ... ◇0.35um的半導體微影製程中,常見的光源波長.

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