stepper scanner差異

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Stepper scanner 差異 :: 軟體兄弟

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stepper scanner差異 - 軟體兄弟

和Stepper相比,Scanner不僅圖像畸變小、一致性高,而且曝光速度也更快。所以目前主流光刻機都是Scanner,只有部分老式設備依舊 ...,曝光(exposure)用光罩對準 ...

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【stepper scanner差異】資訊整理& asher半導體相關消息

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光刻機的工作原理及關鍵技術 - 今天頭條

2019年11月12日 — 目前光刻設備按照曝光方式分為Stepper和Scanner兩種。Stepper是傳統地一次性將整個區域進行曝光;而Scanner是鏡頭沿Y方向的一個細長空間曝光,矽片和掩模 ...

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半導體的核心——光刻機現狀分析 - 每日頭條

2018年9月10日 — Stepper是傳統地一次性將整個區域進行曝光;而Scanner是鏡頭沿Y方向的一個細長空間曝光,矽片和掩模同時沿X方向移動經過曝光區動態完成整個區域的曝光。和 ...

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晶片裡面有幾千萬的電晶體是怎麼實現的? - 壹讀

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曝光機- 維基百科,自由的百科全書

... 曝光時模板緊貼晶圓;以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機(英語:stepper)或掃描式曝光機(英語:scanner),獲得比模板更小的曝光圖樣。

https://zh.wikipedia.org

知識力

2016年9月21日 — ... 目前大多是使用掃描機(Scanner)來進行光學曝光,但是步進機(Stepper)的 ... 上述內容經過適當簡化以適合大眾閱讀,與產業現狀可能會有差異,若您 ...

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芯片里面有几千万的晶体管是怎么实现的?

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