步進式曝光機原理
,2019年12月2日 — 步進式掃描光刻機的工作原理是，單場曝光採用動態掃描方式，即掩模板相對晶圓同步完成掃描運動；完成當前曝光後，晶圓由工作檯承載步進至下一步掃描場 ... ,2019年12月2日 — 步進式掃描光刻機的工作原理是，單場曝光採用動態掃描方式，即掩模板相對晶圓同步完成掃描運動；完成當前曝光後，晶圓由工作檯承載步進至下一步掃描場 ... ,2021年4月17日 — 可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機（ ... ,掃描式曝光機原理,... 曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長激光和類似投影機原理的步進式光刻機（英語：stepper）或掃描式光刻機（英語：scanner），獲得比模板更小的 ... ,可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機（英語：stepper）或掃描式曝光 ... ,2021年10月10日 — 步进式曝光机原理. 曝光机工作原理在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶, ... ,(5)步進掃描式曝光機(step and scan aligner) 配較小透鏡的步進機，以掃描 ... ... 此為步進式曝光機的外觀，晶圓由步進式曝光機側邊晶圓傳輸區自動送入曝光。步進機的 ... ,由 吳國裕 著作 · 2007 — 亦稱為步進式曝光，而執行此種步進且重複曝光方式的曝光機稱為步進機 ... 感光劑（PAC）為光阻的感光成分，其主要原理大概可分為兩類，一為接受光源能量.
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由 吳國裕 著作 · 2007 — 亦稱為步進式曝光，而執行此種步進且重複曝光方式的曝光機稱為步進機 ... 感光劑（PAC）為光阻的感光成分，其主要原理大概可分為兩類，一為接受光源能量. https://ir.nctu.edu.tw |