步進式曝光機
此為步進式曝光機的外觀，晶圓由步進式曝光機側邊晶圓傳輸區自動送入曝光。步進機的原理是將所要的積體電路結構圖形，先以1:5（或1:4）的放大比例製做在光罩上，再把光 ... ,黃光或微影製程用曝光設備. ... Mejiro Precision 步進式曝光機. 原廠名稱：Mejiro Precision Inc. 產品說明： PCB及半導體等產業用曝光設備 ... ,Mejoro Precision 步进式曝光机. 原厂名称：Mejiro Precision Inc. 产品说明： PCB及半导体等产业用曝光设备. 联系我们. 步进式曝光设备. Back ... ,2019年12月2日 — 步進式掃描光刻機的工作原理是，單場曝光採用動態掃描方式，即掩模板相對晶圓同步完成掃描運動；完成當前曝光後，晶圓由工作檯承載步進至下一步掃描場 ... ,可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機（英語：stepper）或掃描式曝光 ... ,由 吳國裕 著作 · 2007 — 目的為將光罩上的圖形轉印至晶圓的光阻上，以利蝕刻或離子植入，進行元件線路的. 定義與制作。本實驗分別使用I-line 與DUV 光阻，故曝光機使用有ASML/400D I-line 步進. 式 ... ,(5)步進掃描式曝光機(step and scan aligner) 配較小透鏡的步進機，以掃描 ... ... 此為步進式曝光機的外觀，晶圓由步進式曝光機側邊晶圓傳輸區自動送入曝光。步進機的 ... ,2021年4月17日 — 可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機（ ... ,2021年3月31日 — ... 展示多項研發成果，吸引台積電、漢民、上銀、東台、志聖等30家廠商參與。儀科中心展出全台第一套在地化、自主設計製造的步進式曝光機投影鏡.
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2019年12月2日 — 步進式掃描光刻機的工作原理是，單場曝光採用動態掃描方式，即掩模板相對晶圓同步完成掃描運動；完成當前曝光後，晶圓由工作檯承載步進至下一步掃描場 ... https://kknews.cc 曝光機- 維基百科，自由的百科全書
可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機（英語：stepper）或掃描式曝光 ... https://zh.wikipedia.org 第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏
由 吳國裕 著作 · 2007 — 目的為將光罩上的圖形轉印至晶圓的光阻上，以利蝕刻或離子植入，進行元件線路的. 定義與制作。本實驗分別使用I-line 與DUV 光阻，故曝光機使用有ASML/400D I-line 步進. 式 ... https://ir.nctu.edu.tw 步進式曝光機優點 - 軟體兄弟
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