微影製程英文

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微影製程英文

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微影製程英文 相關參考資料
6 Photolithography

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光刻- 維基百科,自由的百科全書 - Wikipedia

微影製程(英語:photolithography)是半導體器件製造製程中的一個重要步驟,該步驟利用曝光和顯影在光阻層上刻畫幾何圖形結構,然後通過蝕刻製程將光罩上 ...

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Lithography

微影製程. 離子佈植與. 光阻剝除. 金屬化. 化學機械. 研磨. 介電質沉. 積. 晶圓. 蝕刻與光. 阻剝除. 4. 光罩/倍縮光罩. (Mask). 曝光. Exposure. 顯影. Development. 紫外光.

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