damascene process中文

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Development of Single Mask Dual Damascene Process ... 中文摘要. 現今積體電路後段銅製程內連線(Interconnect) 的技術,企業界一般均採用雙鑲嵌(Dual ... ,In this process, the underlying silicon oxide insulating layer is patterned with open ... 推yellowfishie:Damascene 中文怎麼翻: 大馬士革? 顆粒狀 ... ,Copper Damascene Process for High Speed GaAs Integrating Circuit ... 中文摘要… ... 銅導線製程中,鑲嵌(Damascene)技術的研發提升了低電阻性之銅導線. ,除了蝕刻上的考慮之外,氮化矽蝕刻終止層在銅之鑲嵌製程(copper damascene process)上,還具有阻擋銅擴散之功能。但其缺點是會增加導線間(intra-metal)之 ... ,中文名稱大馬士革鑲嵌性質鑲嵌工藝技術. ... 蝕刻上的考慮之外,氮化矽蝕刻終止層在銅之鑲嵌製程(copper damascene process)上,還具有阻擋銅擴散之功能。 , ,这些不同层之间的连通孔称为via holes。把这些连通孔填充连接起来的工艺在集成电路制造中叫做嵌入法,其英文的名称是Damascene process。 中文名: 嵌入法. ,中文摘要, 雙鑲嵌(Dual Damascene)製程結構已廣泛用於銅金屬連線,而製作 ... 英文摘要, Dual damascene process has been used for copper interconnect. ,中文計劃名稱, 單一光罩雙鑲嵌(Dual Damascene)製程的研發. 執行期限 ... 英文摘要, Dual damascene process has been used for copper interconnect. There are ... ,論文名稱(中文):, 銅製程在奈米半導體積體電路製程整合研究. 論文名稱(英文):, Study of Nano-scale Copper Metallization on Damascene Process Integration for ...

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Dual Damascene

Development of Single Mask Dual Damascene Process ... 中文摘要. 現今積體電路後段銅製程內連線(Interconnect) 的技術,企業界一般均採用雙鑲嵌(Dual ...

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[研究] Damascene processes - 看板NTUGIEE_EDA - 批踢踢 ...

In this process, the underlying silicon oxide insulating layer is patterned with open ... 推yellowfishie:Damascene 中文怎麼翻: 大馬士革? 顆粒狀 ...

https://www.ptt.cc

國立交通大學機構典藏- 交通大學

Copper Damascene Process for High Speed GaAs Integrating Circuit ... 中文摘要… ... 銅導線製程中,鑲嵌(Damascene)技術的研發提升了低電阻性之銅導線.

https://ir.nctu.edu.tw

大馬士革鑲嵌@ kodakku's Blog :: 痞客邦::

除了蝕刻上的考慮之外,氮化矽蝕刻終止層在銅之鑲嵌製程(copper damascene process)上,還具有阻擋銅擴散之功能。但其缺點是會增加導線間(intra-metal)之 ...

https://kodakku.pixnet.net

大馬士革鑲嵌:採用Cu-CMP的大馬士革鑲嵌工藝是目前唯一 ...

中文名稱大馬士革鑲嵌性質鑲嵌工藝技術. ... 蝕刻上的考慮之外,氮化矽蝕刻終止層在銅之鑲嵌製程(copper damascene process)上,還具有阻擋銅擴散之功能。

https://www.itsfun.com.tw

嵌入法(Damascene process) - 芯制造

http://www.chipmanufacturing.o

嵌入法(一种集成电路制造工艺技术)_百度百科

这些不同层之间的连通孔称为via holes。把这些连通孔填充连接起来的工艺在集成电路制造中叫做嵌入法,其英文的名称是Damascene process。 中文名: 嵌入法.

https://baike.baidu.com

成功大學電子學位論文服務

中文摘要, 雙鑲嵌(Dual Damascene)製程結構已廣泛用於銅金屬連線,而製作 ... 英文摘要, Dual damascene process has been used for copper interconnect.

http://etds.lib.ncku.edu.tw

成果報告- 成果報告資料顯示 - 科技部工程科技推展平台

中文計劃名稱, 單一光罩雙鑲嵌(Dual Damascene)製程的研發. 執行期限 ... 英文摘要, Dual damascene process has been used for copper interconnect. There are ...

http://www.etop.org.tw

銅製程在奈米半導體積體電路製程整合研究__國立交通大學博 ...

論文名稱(中文):, 銅製程在奈米半導體積體電路製程整合研究. 論文名稱(英文):, Study of Nano-scale Copper Metallization on Damascene Process Integration for ...

https://etd.lib.nctu.edu.tw