dual damascene中文
中文摘要. 現今積體電路後段銅製程內連線(Interconnect) 的技術，企業界一般均採用雙鑲嵌(Dual Damascene). 製程來製作金屬層溝槽(trench)與中介窗(via)，製造雙 ... ,dual damascene中文意思是什麼. dual damascene解釋. 雙道金屬鑲嵌法. dual: adj. 二的；二重的；二體的；二元的。 dual personality 雙重人格。n. 【語法】雙數；【數學】 ... ,中文摘要, 雙鑲嵌（Dual Damascene）製程結構已廣泛用於銅金屬連線，而製作方式有很多種，目前最常用的有中介窗優先（via first）、溝漕優先（Trench first）以及內嵌 ... ,單一光罩雙鑲嵌(Dual Damascene)製程的研發. 彭, 洞清 (PI). 奈米積體電路工程碩士學位學程. 研究計畫: Research project. 狀態, 已完成. 有效的開始/結束日期 ... ,目錄. 頁次. 中文摘要… .... 銅導線製程中，鑲嵌(Damascene)技術的研發提升了低電阻性之銅導線. 與低介 ... 構(Single damascene)及雙鑲嵌結構(Dual damascene)。 , 摘要: 雙鑲嵌(Dual Damascene)製程結構已廣泛用於銅金屬連線，而製作方式有很多種，目前最常用的有中介窗優先(via first)、溝漕優先(Trench first) ...,大馬士革鑲嵌鑲嵌(damascene)一詞，衍生自古代的Damascus（大馬士革）工匠之嵌 ... 鑲嵌結構一般常見兩種：單鑲嵌結構(single damascene)以及雙鑲嵌結構(dual ... ,中文名稱大馬士革鑲嵌性質鑲嵌工藝技術. ... 鑲嵌結構一般常見兩種:單鑲嵌結構(single damascene)以及雙鑲嵌結構(dual damascene)。 單鑲嵌結構如前所述，僅是 ... , 图一是集成电路制作中双重嵌入（dual-Damascene）工艺的示意图。图（a）是未互联前的多层集成电路结构。为了将衬底上的两个晶体管隔层互联， ...,中文摘要, 現今積體電路後段銅製程內連線(Interconnect) 的技術，企業界一般均採用雙鑲嵌(Dual Damascene) 製程來製作金屬層溝槽(trench)與中介窗(via)，製造雙 ...
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(Dual Damascene)製程的研發
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