alignment mark中文
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中文名: 对准标记. 外文名: Alignment Mark. 晶圆在光刻机里的工艺流程 ... 然后,光刻机的对准系统(alignment system)做掩模与晶圆的对准。粗对准只需要使用2 个对 ... https://baike.baidu.com 第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏
本實驗主題是探討各微影製程條件因子(對準系統、 對準光源、對準記號Alignment mark 種類…等) 對覆蓋誤差可能造成的影響,並透過實驗設計方法(DOE) 做最佳化 ... https://ir.nctu.edu.tw 黃光微影製程技術
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