post exposure bake中文

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post exposure bake中文 相關參考資料
"post exposure bake" 中文翻譯 - 查查在線詞典

post exposure bake中文曝光后烘…,點擊查查權威綫上辭典詳細解釋post exposure bake的中文翻譯,post exposure bake的發音,音標,用法和例句等。

https://tw.ichacha.net

6 Photolithography

Exposure. UV light. Photoresist. Exposure. Negative. Substrate. After ... Soft bake. • Alignment and exposure. P t. b k stepper integrated. • Post exposure bake.

http://140.117.153.69

www.isu.edu.twupload8120143newspostfile_11516.pdf

沒有這個頁面的資訊。瞭解原因

http://www.isu.edu.tw

下世代微影技術之進展與挑戰(下):材料世界網

... 曝光寬容度(Exposure Latitude; EL);(7)曝光後烘烤條件(Post Exposure Baking; PEB)及其穩定性;(8)曝光後顯影延遲(Post Exposure Delay; ...

https://www.materialsnet.com.t

微影

Soft bake. ➢ 90-120°C for 60-120 sec. ◇ Exposure. ◇ Post exposure bake (PEB). ➢ ~100°C for 10 min. ◇ PR Develop. ◇ Hard baking. ➢ 100-180°C for 10-30 ...

http://waoffice.ee.kuas.edu.tw

微影照像

曝光後烘烤(post exposure bake, PEB),亦稱硬烘烤(hard bake),以消除. 阻劑膜的駐波(standing wave)。在深紫外光(deep ultra-violet)製程,硬烤. 六甲基二矽氮 ...

http://www.wunan.com.tw

第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

光阻塗佈槽(Coater)使光阻能均勻的塗佈在晶片表面;軟烤板(Soft Bake)用來將光阻. 內的溶劑烤乾;曝光後烘烤板(Post Exposure Bake Plate)用來消除曝光後的駐 ...

https://ir.nctu.edu.tw

關於黃光及其100個疑問,這篇文章已全面解答- 每日頭條

答:曝光是將塗布在Wafer表面的光阻感光的過程,同時將光罩上的圖形傳遞到Wafer上的過程。 12、何謂PEB(Post Exposure Bake)? 答:PEB是在 ...

https://kknews.cc

雙面光罩對準曝光儀

對準光罩(Mask Align)及曝光(Exposure). 曝光模式 ... Lithography. 硬烤(Hard Bake or Post-Exposure Bake) ... 儀器介紹(一). 中文名稱:雙面光罩對準曝光儀.

http://www.pisc.fcu.edu.tw

黃光微影製程技術

Pre-bake (Soft-bake) (90℃/1.5min OR 90℃/30min) / Cooling. 2. Exposure. - exposed by aligner, stepper or scanner. - Post Exposure Bake (PEB). 3. Developing.

http://semi.tcfst.org.tw