鈦鎢蝕刻液
目前銅柱凸塊(Copper Pillar Bumping)之TiW及Ti蝕刻(圖1)，已有多家先進凸塊構裝 ... 目前文獻有關鈦鎢合金(TiW)和鈦鎢氮合金(TiW(N）)之最佳蝕刻液成份， ... ,在UBM蝕刻製程中，根據不同的UBM金屬層種類和厚度、蝕刻液之化學特性、凸塊 ... 鈦(Ti)和鈦鎢合金(10%Ti/ 90%W) UBM金屬，具有雙重特性，其可作為UBM之 ... ,論文名稱: 半導體晶圓凸塊製造之鈦蝕刻液配方改善. 論文名稱(外文):. 指導教授: 彭政雄. 學位類別: 碩士. 校院名稱: 明新科技大學. 系所名稱: 化學工程與材料科技研究 ... ,Titanium etchant(鈦蝕刻液: 氫氟酸系列) · Titanium etchant(鈦蝕刻液: 氟化物系列) ... (鋁蝕刻液) · Nickel etchant(鎳蝕刻液) · Ti/W etchant(鈦鎢蝕刻液: 雙氧水系列) ... , 蝕刻藥液鈦蝕刻Ti etchant：低溫操作，不攻擊PI，亦可應用於TiW蝕刻。 鈦鎢蝕刻TiW etc 寶力威精細材料股份有限公司Purify Fine Materials Co., ..., 蝕刻藥液鈦蝕刻Ti etchant：低溫操作，不攻擊PI，亦可應用於TiW蝕刻。 鈦鎢蝕刻TiW etc 寶力威精細材料股份有限公司Purify Fine Materials Co., ...,使用於晶圓級封裝製程中UBM層(Ti or TiW)蝕刻、且能有效的針對特定元素進行，避免傷害底材. ,銅(Cu) 蝕刻液. □ 鈦(Ti) / 鈦鎢(TiW)蝕刻液. □ 金(Au) 蝕刻液(KI & KCN系列). □ 鋁(Al) 蝕刻液. □ 氧化銦錫(ITO) 蝕刻液. □ 鎳(Ni) 蝕刻液. □ 鉻(Cr) 蝕刻液. -硝酸銨 ... ,TiW蚀刻必须注意蚀刻速率(Etch Rate)控制，其中制程温度(Process Temperature)、蚀刻液寿命(Etching Chemical Lifetime)与微金属含量(Metal Concentration)对于 ... ,本发明涉及一种钛系金属、钨系金属、钛钨系金属或者它们的氮化物的蚀刻液，该蚀刻液含有过氧化氢、有机酸盐和水。通过使用该蚀刻液，可进行抑制了起泡的钛系 ...
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