蝕刻液成分
一、鹼性蝕刻液:通常是氯化氨+雙氧水,有非常明顯AMONIA的臭味,蝕刻銅的速率為列舉中最快的,此成份碰到水很容易沈澱,形成藍色結晶。 二、酸性蝕刻液:分成氯化銅及氯 ... ,本發明的蝕刻液組成物,含有鹽酸、氯化鐵或氯化銅、及水。 本發明的蝕刻液組成物中的鹽酸的濃度為15.0~36.0重量%。藉此,透明導電膜的蝕刻速度 ... ,在微電子工業上,最常使用的銅蝕刻液為過硫酸胺(Ammonium Persulfate)溶液,因過硫酸胺溶液也會攻擊錫鉛凸塊,所以蝕刻溶液成份要作最佳化處理,以防止錫鉛凸塊被攻擊, ... ,二、成分辨識資料. 混合物:. 中英文名稱:銅蝕刻液(Copper etchant). 同義名稱:. 化學文摘社登記號碼(CAS No.):. 危害物質成分(成分百分比) :. 混合物:. ,廢液回收. 精密化學品. 顯影液. 利用鹼性顯影液將光阻(PR, Photo Resist)經曝光後形成的有機酸中和、剝落,留下未反應的光阻圖案。 TMAH (氫氧化四甲基銨)., ,蝕刻液中Fe3+濃度逐漸增加,對銅的蝕刻速率相應加快。 蝕刻液分類. 目前已經使用的蝕刻液類型有六種類型:. 酸性氯化銅. 鹼 ... ,2019年10月29日 — 蝕刻液一般分為酸性蝕刻液和鹼性蝕刻液兩種。酸性蝕刻液主要成分氯化銅、鹽酸、氯化鈉和氯化銨。它的機理是:,;酸性蝕刻液具有蝕刻速率易控制, ... ,2012年6月23日 — 1.硝酸(HNO3)。 2.氫氟酸(HF)的水溶液。 3.醋酸(CH3COOH)溶液。 另外一般濕式製程中的蝕刻及清洗則使用大量的酸鹼溶液,基本上有氫氟酸(HF)、硝酸(HNO3)、 ... ,2019年8月23日 — 鹼性蝕刻液主要成分為氯化銅﹑氨水﹑氯化銨,補助成分為氯化鈷、氯化鈉、氯化銨或其它含硫化合物以改善特性。鹼性蝕刻液是通過以上的機理來進行作用的。鹼 ...
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