under bump metallurgy中文
取代鋁(Al)成為新一代的導線材料。 覆晶接合技術包含接合凸塊(Bump Joint)製作和底部金屬化(Under Bump. Metallurgy,UBM),凸塊本體最常用的是錫鉛(PbSn) ... , 在使用夾焊(Clip Bond)時,由於鋁墊上方必須要有凸塊下金屬層(Under Bump Metallurgy, 下稱UBM),來做為鋁墊和銅夾(Clip)之間的銲接 ...,製程包括Sputter UBM(Under Bump Metallurgy)、Photolithography、Plating、Etching等。此凸塊適合應用於如TAB、Flip Chip等。 WLCSP則是選用更大的錫鉛球來 ... ,晶圓級封裝前段製程為晶圓凸塊(Wafer Bumping),就凸塊製程而言,其主要包括球下金屬層(UBM:. Under Bump Metallurgy)與錫凸塊(Solder Bump)兩部份; ... ,Under Bump Metallization (UBM) etching,UBM蝕刻是以凸塊或光阻當作蝕刻遮罩層(Etching mask),然後將未被覆蓋之UBM金屬層作蝕刻去除,以隔離個別凸塊。 ,可分為金凸塊(Gold bumping)及錫鉛凸塊(Solder bumping),利用薄膜製程或化學鍍製程 ... UBM(Under Bump Metallurgy)、Photolithography、Plating、Etching等。 ,一般可分為金凸塊(Gold bumping)及錫鉛凸塊(Solder bumping)兩種,同樣是 ... 和金凸塊製程相同,先是在晶片上濺鍍UBM (under bump metallization)底層,再 ... , , ... 狀結構的球下金屬層(UBM:Under bump metallurgy)、與後續的錫合金凸塊形成製程(錫膏)或植球,而凸塊晶片則以搭配覆晶(Flip chip)製程為主。, 就凸塊製程而言,其主要包括球下金屬層(UBM :Under Bump Metallurgy)與錫凸塊(Solder Bump)兩部份;在UBM 的進階製程裡則引進線路重佈 ...
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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏
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