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氮化矽. 矽. 襯墊氧化層. 氮化矽. 矽. USG. 阻擋氧化層. 槽溝蝕刻. 槽溝填充. USG CMP; USG 退火; 氮化矽和襯墊氧化層剝除. STI製程中的襯墊氧化層和阻擋氧化層 ... http://web.nuu.edu.tw 何謂STI effect? - Layout設計討論區- Chip123 科技應用創新 ...
最近聽到有人談到STI effect請問板上的先進們~~那是什麼意思呢? ... 在同一半導體基板上製做複數個元件時，元件之間不應造成相互的影響(=寄生 ... http://chip123.com Process Integration
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半導體製程技術之簡介. 簡介 ... 第一個半導體電晶體, AT&T Bell Labs (. 貝爾實驗 ... Shallow trench isolation (STI). Vss. Vdd. NMOS. PMOS. Vin. Vout. STI. (a). (b). (c) http://homepage.ntu.edu.tw 國立交通大學機構典藏：高壓半導體元件淺溝槽隔離製程之差排 ...
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