stepper曝光機

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stepper曝光機

Litho. 曝光机的分类. • 按光源分类: DUV (波长=248) ; I-line (波长=365nm). • 按运作分类: 扫描机(SCANNER); 步进机(STEPPER) ... ,3. 曝光(exposure)用光罩對準儀(mask aligner)或步進照像機(stepper)。 前者一次曝光一整片晶圓(wafer),後者以步進重覆方式,一次曝光數個晶. ,可以分為兩種,分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner,曝光時模板緊貼晶圓;以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機(英語:stepper)或 ... ,佳能的半導體製造設備,微影步進機(Stepper)與步進掃描機(Scanner) , 主要應用於 ... 佳能的液晶顯示器製造設備, 反射式對準成像曝光機(MPA), 藉由大型的反射光學 ... ,2016年9月21日 — 步進式曝光機:因為圖形轉移的方式是「一步一步地(Step by step)」,因此又稱為「步進機(Stepper)」,如<圖四(a)>所示,在一個晶粒上方 ... ,Ultratech stepper 步进曝光机 · 光阻涂布 · 曝光(光刻) · 无光罩雷 ... ,亦稱為步進式曝光,而執行此種步進且重複曝光方式的曝光機稱為步進機. (Stepper)。 圖2.8 倍縮投影步進機. 五、曝光後烘烤:以90℃到130℃的溫度烘烤晶 ... ,2018年4月2日 — 20、何謂Stepper? 其功能為何? 答:一種曝光機,其曝光動作為Step by step形式,一次曝整個exposure field,一個一個曝過去. ,Nikon stepper 步進曝光機. 產品簡介. 商品編號:NikonStepper (亦有二手Stepper). Model: Nikon i8、i9 ...

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stepper曝光機 相關參考資料
Scanner ,Stepper

Litho. 曝光机的分类. • 按光源分类: DUV (波长=248) ; I-line (波长=365nm). • 按运作分类: 扫描机(SCANNER); 步进机(STEPPER) ...

http://www.gdt-touch.com

微影照像

3. 曝光(exposure)用光罩對準儀(mask aligner)或步進照像機(stepper)。 前者一次曝光一整片晶圓(wafer),後者以步進重覆方式,一次曝光數個晶.

http://www.wunan.com.tw

曝光機- 維基百科,自由的百科全書 - Wikipedia

可以分為兩種,分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner,曝光時模板緊貼晶圓;以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機(英語:stepper)或 ...

https://zh.wikipedia.org

營業項目 - Canon Semiconductor Equipment Taiwan, Inc.

佳能的半導體製造設備,微影步進機(Stepper)與步進掃描機(Scanner) , 主要應用於 ... 佳能的液晶顯示器製造設備, 反射式對準成像曝光機(MPA), 藉由大型的反射光學 ...

https://www.canon-se.com.tw

知識力 - Ansforce

2016年9月21日 — 步進式曝光機:因為圖形轉移的方式是「一步一步地(Step by step)」,因此又稱為「步進機(Stepper)」,如<圖四(a)>所示,在一個晶粒上方 ...

https://ansforce.com

科毅科技股份有限公司

Ultratech stepper 步进曝光机 · 光阻涂布 · 曝光(光刻) · 无光罩雷 ...

https://www.mrnanotec.com.tw

第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

亦稱為步進式曝光,而執行此種步進且重複曝光方式的曝光機稱為步進機. (Stepper)。 圖2.8 倍縮投影步進機. 五、曝光後烘烤:以90℃到130℃的溫度烘烤晶 ...

https://ir.nctu.edu.tw

關於黃光及其100個疑問,這篇文章已全面解答- 每日頭條

2018年4月2日 — 20、何謂Stepper? 其功能為何? 答:一種曝光機,其曝光動作為Step by step形式,一次曝整個exposure field,一個一個曝過去.

https://kknews.cc

首頁產品與服務中古設備Nikon stepper 步進曝光機 - 科毅科技 ...

Nikon stepper 步進曝光機. 產品簡介. 商品編號:NikonStepper (亦有二手Stepper). Model: Nikon i8、i9 ...

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