lam2300
為了精確形成高難度的特徵結構，Lam Research的Flex®系列產品可為關鍵的蝕刻製程應用提供具差異化的技術以及應用導向的功能。針對某些應用，透過我們的Reliant®系統還可 ... ,淺溝槽隔離 · 源極(source)/汲極(drain) · 高介電值(High-k)/金屬閘極 · 鰭式場效電晶體(FinFET)和三閘式電晶體(tri-gate) · 雙重和四重曝光(quadruple patterning) · 3D NAND ...,,,LAM RESEARCH 2300 Exelan是一款為滿足先進半導體生產需求而設計的蝕刻器/asher，具有雙室、靜止運動技術和等離子增強命令協議（PECP）等特點。,LAM 2300 VERSYS KIYO · Alliance A6 TCP9400DFM/PTX · LAM 2300 Etcehr Exelan Flex · Alliance A6 9600PTX · Standalone TCP Etching system · Rainbow etching System ... ,2013年3月12日 — 本設備為8 吋群集式(cluster tool)乾式蝕刻設備，具有多種類乾式蝕. 刻腔體，金屬薄膜蝕刻、介電質薄膜蝕刻、光阻去除灰化蝕刻腔體。,2014年8月22日 — Presentation Transcript · Lam2300多晶矽與介電質乾蝕刻機 · 多晶矽製程腔體系統:Poly gate Film Stack etch · Poly · ADI:135nm · 介電質製程腔體系統: ...
| 相關軟體 Etcher 資訊 | |
|---|---|
 lam2300 相關參考資料
FLEX系列產品
為了精確形成高難度的特徵結構，Lam Research的Flex®系列產品可為關鍵的蝕刻製程應用提供具差異化的技術以及應用導向的功能。針對某些應用，透過我們的Reliant®系統還可 ... https://www.lamresearch.com KIYO系列產品
淺溝槽隔離 · 源極(source)/汲極(drain) · 高介電值(High-k)/金屬閘極 · 鰭式場效電晶體(FinFET)和三閘式電晶體(tri-gate) · 雙重和四重曝光(quadruple patterning) · 3D NAND ... https://www.lamresearch.com LAM 2300 Metal Etch Chamber
https://www.youtube.com LAM 2300 Metal Etch Preventive Maintenance BKM | Foamtec ...
https://www.foamtecintlwcc.com LAM RESEARCH 2300 Exelan 蝕刻機 光阻清洗 ...
LAM RESEARCH 2300 Exelan是一款為滿足先進半導體生產需求而設計的蝕刻器/asher，具有雙室、靜止運動技術和等離子增強命令協議（PECP）等特點。 https://tw.caeonline.com LAM Research全翻新設備
LAM 2300 VERSYS KIYO · Alliance A6 TCP9400DFM/PTX · LAM 2300 Etcehr Exelan Flex · Alliance A6 9600PTX · Standalone TCP Etching system · Rainbow etching System ... http://b2bcis.com.tw Lam2300 多晶矽與介電質乾蝕刻機儀器簡介
2013年3月12日 — 本設備為8 吋群集式(cluster tool)乾式蝕刻設備，具有多種類乾式蝕. 刻腔體，金屬薄膜蝕刻、介電質薄膜蝕刻、光阻去除灰化蝕刻腔體。 https://www.tsri.org.tw Lam2300 多晶矽與介電質乾蝕刻機標準製程
2014年8月22日 — Presentation Transcript · Lam2300多晶矽與介電質乾蝕刻機 · 多晶矽製程腔體系統:Poly gate Film Stack etch · Poly · ADI:135nm · 介電質製程腔體系統: ... https://www.slideserve.com |