boe溶液
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HF(BOE), 清除矽晶圓表面自然生成的氧化層,可使用稀釋後的氫氟酸(0.49%~2%)或氫氟酸與氟化銨 ... BOE or BHF)所形成之緩衝溶液來蝕刻二氧化矽層,化學反應式如下: http://www.gptc.com.tw 分類
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六氟靈:供含氟酸類的藥品沾附急救用(如:HF、B.O.E.7:1等溶液). b.敵腐靈:供一般酸、鹼沾附急救用(如:H2SO4、HCl、NH4OH等溶液). c.葡萄酸鈣軟膏:供含氟酸類的 ... https://www.tsri.org.tw 第四章結果與討論4.1 蝕刻條件4.1.1 濕蝕刻本文將討論兩種不同
由 蕭文宏 著作 · 2004 · 被引用 1 次 — 以下分別分析比較DHF與BOE之不同。 一般半導體製程中在蝕刻二氧化矽通常是用BOE做為蝕刻液,因. 此首先以BOE為例。 https://ir.nctu.edu.tw |