LAM Chamber
KIYO系列產品. Atomic Layer Etch (ALE) Reactive Ion Etch. Lam Research領先市場的導體蝕刻產品能以 ... ,介電層蝕刻是用來雕刻半導體元件中絕緣材料的圖案，以在元件的導電部位之間建立阻障(barrier)。在先進的電子元件中，這些結構通常極高且窄，並會包含複雜、敏感的材料 ...,這些微型結構即使有輕微的變異，都會造成電性缺陷而影響元件效能。事實上，由於這些結構非常細微，蝕刻製程的進展正突破物理和化學定律的界限。 Lam Research的Kiyo® ... ,LAM PLATE WINDOW CHAMBER 715-031454-001. LAM PLATE WINDOW CHAMBER 715-031454-001 ... AMAT 0040-09002 CHAMBER ETCH. AMAT GAS PANEL MANIFOLD “G” ... ,LAM RESEARCH Chamber for 2300 KIyo FX. ID #9251224. 12. ,LAM RESEARCH Chamber for 2300 Kiyo. ID #9262254. . ,透過對稱式腔體(Chamber)設計、業界領先的靜電吸盤(electrostatic chuck)技術、與獨立的製程調變功能，可實現優異的均勻度和再現性(repeatability) ... ,OBJECTIVE: TO EFFECTIVELY PM THE LAM 2300 KIYO POLY ETCH CHAMBER IN A TIMELY MANNER, WHILE IMPROVING TOOL RECOVERY AND PARTICLE PERFORMANCE.
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