黃光track line
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黃光track line 相關參考資料
DST系列- 顯示器黃光Track Line 解決方案| Manz AG
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步驟: 可蝕刻材料Al-Si-Cu、Ti/TiN等Si基礎之材料為基板. ↓. 光阻塗佈(Track). ↓. 黃光製程(G-line,I-line,E-beam). ↓. 顯影(Track). ↓. 乾式蝕刻(TCP 9600SE). ↓. http://www.ndl.org.tw 亞智推Manz黃光Track Line解決方案- 中時電子報
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