遙控 電 漿

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遙控 電 漿

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需要外界的能量- 射頻(RF)電漿源是半導. 體製程中最普遍的電漿源. ▫ 欲產生射頻電漿 ... 電漿蝕刻. ▫ CF. 4. 氣體在電漿中分解,產生氟自由基以進. 行氧蝕刻製程.

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電子材料連水養(S. Y. Lien) 電漿的基礎原理、製程與應用

遙控電漿清潔法. ▫ 沉積不只發生在晶圓表面. ▫ CVD反應室需要例行清潔. ▫ 避免薄膜破裂的粒子污染物. ▫ 電漿清潔一般使用氟碳化合物的氣體.

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