蝕刻液種類
圖2、弘塑科技之單晶圓旋轉蝕刻(Single Wafer Spin Etcher)設備(UFO-300系列)。 在UBM蝕刻製程中,根據不同的UBM金屬層種類和厚度、蝕刻液之化學特性、凸塊圖案、必須靈活 ... ,BHF(二氧化矽蝕刻液) · Mixed acid etchant(MAE,多晶矽蝕刻液) · Pad etchant(墊底蝕刻液) · ITO etchant(氧化銦錫蝕刻液:氯化鐵及鹽酸). ,已經使用的蝕刻液類型有六種類型:酸性氯化銅、鹼性氯化銅、氯化鐵、過硫酸銨、硫酸/鉻酸、硫酸/雙氧水蝕刻液。 酸性氯化銅,工藝體系,根據添加不同的氧化劑又可細分 ... ,更新時間: 2013-07-31. 蝕刻液分類. 目前已經使用的蝕刻液類型有六種類型:. 酸性氯化銅. 鹼性氯化銅. 氯化鐵. 過硫酸銨. 硫酸/鉻酸. 硫酸/雙氧水蝕刻液。 ,硫酸/雙氧水蝕刻液。 酸性氯化銅,工藝體系,根據添加不同的氧化劑又可細分為鹽酸氯化銅+空氣體系、鹽酸氯化銅+氯酸鈉體系、鹽酸氯化銅+雙氧水體系三種蝕刻工藝,在 ... ,已經使用的蝕刻液類型有六種類型:酸性氯化銅、鹼性氯化銅、氯化鐵、過硫酸銨、硫酸/鉻酸、硫酸/雙氧水蝕刻液。 酸性氯化銅,工藝體系,根據添加不同的氧化劑又可細分為 ... ,蝕刻液中Fe3+濃度逐漸增加,對銅的蝕刻速率相應加快。 蝕刻液分類. 目前已經使用的蝕刻液類型有六種類型:. 酸性氯化銅. 鹼 ... ,2019年10月29日 — 蝕刻液一般分為酸性蝕刻液和鹼性蝕刻液兩種。酸性蝕刻液主要成分氯化銅、鹽酸、氯化鈉和氯化銨。它的機理是:,;酸性蝕刻液具有蝕刻速率易控制, ... ,2012年6月23日 — 1.硝酸(HNO3)。 2.氫氟酸(HF)的水溶液。 3.醋酸(CH3COOH)溶液。 另外一般濕式製程中的蝕刻及清洗則使用大量的酸鹼溶液,基本上有氫氟酸(HF)、硝酸(HNO3)、 ... ,
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