曝後烤英文

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曝後烤英文

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曝後烤英文 相關參考資料
曝光后烘烤的英文怎麼說 - Terry L.

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第一章 前言

程中由於極性的不同,造成附著力不夠,因此常利用HMDS. (hexamethyldisilazane)蒸鍍在晶圓表面,藉以改變晶圓表面的極性. 晶片清洗. 曝後烤. 軟烤. 光阻塗佈.

http://thuir.thu.edu.tw

《半導體製造流程》

剛切好的晶圓,其邊緣垂直於切割平面為銳利的直角,由於矽單晶硬脆的材料特. 性,此角極易崩裂,不但影響晶圓強度,更為製程中污染微粒的來源,且在後續的半 ...

http://blog.ylsh.ilc.edu.tw

光刻- 維基百科,自由的百科全書 - Wikipedia

硬烤可以達到這個目的,這一步驟也被稱為堅膜。在這過程中,利用高溫處理,可以除去光阻中剩餘的溶劑、增強光阻對矽片表面的附著力,同時 ...

https://zh.wikipedia.org

HMDS去水烘烤與塗底示意圖旋轉塗佈光阻

微影製程的流程步驟(下圖):1.旋轉塗佈光阻、2.軟烘烤、3.對準與曝光、4.曝後烤、5.顯影、(硬烘烤)、6.完成微影製程. 在微影製程之前通常為了增加圖案的傳遞 ...

http://my.stust.edu.tw

"曝光后烘烤" 英文翻譯 - 查查在線詞典

曝光后烘烤英文翻譯:postexposure bake…,點擊查查權威綫上辭典詳細解釋曝光后烘烤英文怎麽說,怎麽用英語翻譯曝光后烘烤,曝光后烘烤的英語例句用法和 ...

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曝光後顯影前之烘烤處理的英文翻譯_英語怎麼說_海詞詞典 - 海词

曝光後顯影前之烘烤處理的英文翻譯. 基本釋義. Post exposure pre development bake. 曝光後顯影前之烘烤處理的相關資料:. 臨近單詞. 曝 曝光過度. 單詞曝光後 ...

http://dict.cn

曝光後显影前之烘烤处理的英文翻译_英语怎么说_海词词典

曝光後显影前之烘烤处理的英文翻译. 基本释义. Post exposure pre development bake. 曝光後显影前之烘烤处理的相关资料:. 临近单词. 曝 曝光过度. 单词曝光後 ...

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國立中興大學-光電半導體製程中心 - 國立中興大學-> 電機系

整個微影的製程有塗底(Priming)(如HMDS)、上光阻(Coating Photoresist)、軟烤(Soft Bake)、曝光(Exposure)、顯影(Development)和硬烤(Hard Bake)等步驟。

http://www.ee.nchu.edu.tw

國立交通大學機構典藏

由 吳政三 著作 · 2012 — 英文摘要. Development of green material for mask of next generation lithography ... 曝後烤. 3.軟烤. 2.光阻塗佈. 1.塗底. 7.硬烤. 影像檢查設備. 8.顯影後檢查.

https://ir.nctu.edu.tw