psg磷矽玻璃
硼磷硅玻璃（boro-phospho-silicate-glass，BPSG）：这是一种掺硼的SiO2玻璃。可采用CVD方法（SiH4+O2+PH3+B2H6，400oC~450oC）来制备。BPSG与PSG（磷硅 ... , 一般說來，材料依電流的傳導能力可分為非導體(絕緣體)與導體，前者例如玻璃，後者例如金屬，如果我們以電子在物質內運動所受到的阻礙程度 ...,磷矽酸鹽玻璃. phosphosilicate glass(PSG). 大陸譯名: 磷硅酸盐玻璃. 以phosphosilicate glass(PSG) 進行詞彙精確檢索結果. 出處/學術領域, 英文詞彙, 中文詞彙. ,去除爐管製程中產生之磷硅玻璃* 高產能及低破片率之批次式(Batch-Type)全自動清洗設備* 提供單晶矽片表面髒汙及磷硅玻璃清洗處理web66 * 採用特殊乾燥系統 ... , PMD通常是一個磷摻雜的矽玻璃(矽玻璃，PSG)或是有磷與硼摻雜的氧化矽(硼磷矽，BPSG)。為了避免磷與硼擴散進入活化區(源極/汲極)，在PSG或 ...,氧化矽薄膜沈積. ○ 磷矽玻璃(PSG). APCVD (400℃左右@ 常壓下). PECVD (400℃以下). ▫PSG與BPSG的用途說明. ▫離子轟擊(Ion bombardment)的效用. ,PMD 製程與加熱回流的溫度限制是由元件的熱積存來決定。 PMD 通常是一個磷摻雜的矽玻璃（磷矽玻璃，PSG）或是有. 磷與硼摻雜的氧化矽（硼磷矽玻璃，BPSG）。 ,硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即掺杂了硼和磷的二氧化硅 ... 在大规模集成电路(简称LSI)时代，人们普遍地把磷硅玻璃(简称PSG)膜用作为多层 ... ,沈積磷矽玻璃當作犧牲層時，再以氮化矽或多晶矽當結構層，且利用氫氟酸來當作 ... the Etching Front During Sacrificial PSG Layer Removing in Hydrofluoric Acid. , 將初鍍的磷化矽玻璃薄膜在400oC的爐內退火10-30分鐘模擬在積體電路 ... 並測量PSG薄膜在熱循環過程中的應力磁滯現象，用以檢測磷矽玻璃 ...
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硼磷硅玻璃（boro-phospho-silicate-glass，BPSG）：这是一种掺硼的SiO2玻璃。可采用CVD方法（SiH4+O2+PH3+B2H6，400oC~450oC）来制备。BPSG与PSG（磷硅 ... https://baike.baidu.com BPSG硼磷矽玻璃和PSG磷矽玻璃有什麼差別 - Yahoo奇摩知識+
一般說來，材料依電流的傳導能力可分為非導體(絕緣體)與導體，前者例如玻璃，後者例如金屬，如果我們以電子在物質內運動所受到的阻礙程度 ... https://tw.answers.yahoo.com phosphosilicate glass(PSG) - 磷矽酸鹽玻璃 - 國家教育研究院雙語詞彙
磷矽酸鹽玻璃. phosphosilicate glass(PSG). 大陸譯名: 磷硅酸盐玻璃. 以phosphosilicate glass(PSG) 進行詞彙精確檢索結果. 出處/學術領域, 英文詞彙, 中文詞彙. http://terms.naer.edu.tw PSG 磷硅玻璃去除設備 華康半導體股份有限公司WAKO 台灣黃頁詢價 ...
去除爐管製程中產生之磷硅玻璃* 高產能及低破片率之批次式(Batch-Type)全自動清洗設備* 提供單晶矽片表面髒汙及磷硅玻璃清洗處理web66 * 採用特殊乾燥系統 ... https://www.web66.com.tw 半導體製程@ 這是我的部落格:: 隨意窩Xuite日誌
PMD通常是一個磷摻雜的矽玻璃(矽玻璃，PSG)或是有磷與硼摻雜的氧化矽(硼磷矽，BPSG)。為了避免磷與硼擴散進入活化區(源極/汲極)，在PSG或 ... http://blog.xuite.net 基礎半導體IC製程技術 - NTNU MNOEMS Lab. 國立台灣師範大學機電 ...
氧化矽薄膜沈積. ○ 磷矽玻璃(PSG). APCVD (400℃左右@ 常壓下). PECVD (400℃以下). ▫PSG與BPSG的用途說明. ▫離子轟擊(Ion bombardment)的效用. http://mems.mt.ntnu.edu.tw 檢視開啟
PMD 製程與加熱回流的溫度限制是由元件的熱積存來決定。 PMD 通常是一個磷摻雜的矽玻璃（磷矽玻璃，PSG）或是有. 磷與硼摻雜的氧化矽（硼磷矽玻璃，BPSG）。 http://chur.chu.edu.tw 硼磷硅玻璃_百度百科
硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即掺杂了硼和磷的二氧化硅 ... 在大规模集成电路(简称LSI)时代，人们普遍地把磷硅玻璃(简称PSG)膜用作为多层 ... https://baike.baidu.com 磷矽玻璃犧牲層去除行為之觀察與研究__國立清華大學博碩士論文全文 ...
沈積磷矽玻璃當作犧牲層時，再以氮化矽或多晶矽當結構層，且利用氫氟酸來當作 ... the Etching Front During Sacrificial PSG Layer Removing in Hydrofluoric Acid. http://etd.lib.nctu.edu.tw 離子掺雜於積體電路中介電層及源極汲極的應用與性質之研究
將初鍍的磷化矽玻璃薄膜在400oC的爐內退火10-30分鐘模擬在積體電路 ... 並測量PSG薄膜在熱循環過程中的應力磁滯現象，用以檢測磷矽玻璃 ... http://ir.lib.ncku.edu.tw |