bpsg析出
因此出现了掺硼（B)的硼磷娃酸盐玻璃（boro-phospho-silicate-glass,简称BPSG)来 ... H3PO4);而在退火(Anneal)之后，由于H+或0H—离子析出，Si-H和Si-OH悬挂键 ... ,本发明公开了一种制造半导体的工艺方法，包括以下步骤：S1、BPSG淀积形成绝缘 ... 方法可以有效降低退火前后的BPSG的表面浓度，降低了晶体析出，改善表面缺陷。 ,其使BPSG膜具有平整特性、防止包含杂质的氧化膜产生结晶缺陷；该方法的步骤为： ... 平整膜回流处理时，能防止平整膜所含杂质结晶析出的半导体器件的平整方法。 ,本发明公开一种半导体器件的平整方法，其使BPSG膜具有平整特性、防止包含 ... 在平整膜回流处理时，能防止平整膜所含杂质结晶析出的半导体器件的平整方法。 ,因此出现了掺硼（B)的硼磷娃酸盐玻璃（boro-phospho-silicate-glass,简称BPSG)来 ... H3PO4);而在退火(Anneal)之后，由于H+或0H—离子析出，Si-H和Si-OH悬挂键 ... ,鎢沉澱物析出時間比較表. ... （Silicon-Oxide Glass）coating 時與BPSG 結合更緊密良好。 ... SOG etching back 的步驟使BPSG 達到完全平坦的理想狀態，此製程步. ,學者研究發現無機鹽類能迅速在超臨界乙醇中溶解，減壓後又能立刻析出結晶，但 ... 硼磷矽玻璃(BPSG)、四乙氧基矽烷(P-TEOS)、二氧化矽(Thermal SiO2)與氮化矽. ,熱流動(flow)：將PSG與BPSG加熱至其玻璃. 轉換溫度(glass ... 硼磷矽玻璃(BPSG). APCVD ... 沈積薄膜的純度不易控制(蒸鍍時坩鍋材質亦會析出附著). ▫ 對合金或是 ... ,硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即掺杂了硼和磷的二氧化硅 ... 杂质就会不断扩散析出，形成所谓Bubble Defect，造成严重的工艺问题，如图5， ...
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硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即掺杂了硼和磷的二氧化硅 ... 杂质就会不断扩散析出，形成所谓Bubble Defect，造成严重的工艺问题，如图5， ... https://baike.baidu.com |