pecvd中文
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SiCl3H (三氯矽烷;TCS). SiCl4 (四氯矽烷;Siltet). LPCVD. SiH4, O2. SiO2 (玻璃). PECVD SiH4, N2O. 介電質. PECVD Si(OC2H5)4 (四乙氧基矽烷,TEOS), O2. http://www.isu.edu.tw PECVD - 交通大學奈米中心
中文名稱, 電漿輔助化學氣相沉積系統, 英文名稱. Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD). 儀器廠牌型號. Samco. 購置年限. 1998年7月. 放置地點. http://www.nfc.nctu.edu.tw PECVD_百度百科
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