naoh蝕刻
於矽晶片上產生非等向性蝕刻，以製作金字塔抗反射結構。由於，. 反應進行時 ..... 第二章詳述)，一般利用氫氧化鉀(KOH)或氫氧化鈉(NaOH)作為蝕刻. 液，但是上述的 ... ,(2) 於研磨廢液中銀/二氧化矽合成反應中，反應時間15 分鐘添加NaOH 濃度由0 ...... （Oxidation）及沈積，最後進行微影、蝕刻及離子植入等反覆步驟，以完成晶圓上.
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國立中山大學光電工程研究所碩士論文
於矽晶片上產生非等向性蝕刻，以製作金字塔抗反射結構。由於，. 反應進行時 ..... 第二章詳述)，一般利用氫氧化鉀(KOH)或氫氧化鈉(NaOH)作為蝕刻. 液，但是上述的 ... http://ir.lib.nsysu.edu.tw 國立中興大學化學工程學系研究所碩士學位論文氧化性化學機械 ...
(2) 於研磨廢液中銀/二氧化矽合成反應中，反應時間15 分鐘添加NaOH 濃度由0 ...... （Oxidation）及沈積，最後進行微影、蝕刻及離子植入等反覆步驟，以完成晶圓上. http://ir.lib.nchu.edu.tw |