ltps ldd
We have developed a CMOS LTPS process which requires only five photolithographic masks and only one ion doping step. Drain/Source areas of NMOS TFTs ... ,The self-aligned structure of top-gate n-type LTPS TFTs with lightly doped drain (LDD) structure was used in the experiment. First, the buffer oxide and a-Si:H ... ,LTPS-TFTs元件，由於晶粒邊界與晶粒內之缺陷以及其較陡的汲極端接面，使其關閉時的漏電流特性與一般的MOSFETs元件不同。為了分析LTPS-TFTs元件之漏電 ... ,低溫複晶矽薄膜電晶體(LTPS TFTs) 由於擁有良好的電流驅動能力，目前已 ..... Fig.2-1 The IDVG curve contract between unilateral LDD length and bilateral LDD. ,有LDD設計的MOS的電場分布，將往汲極移動，且電場的大小也將. 比無LDD的MOS為低。因此熱電子效應便可以被減輕。 – 另外部份電子跨過氧化層界面而往閘極 ... ,LTPS TFT )的製造技術中，準分子雷射退火扮演舉足輕重的角色，由於非晶矽. (amorphous silicon ,a-Si) ...... LDD (Lightly Doping Dran 輕摻雜) ion doping of BH2. ,LTPS) 薄膜電晶體(thin-film transistors, TFTs)的研究。 ... TFTs on glass substrate has been proposed in a 3-µm LTPS process. Also ..... (LDD: lightly doped drain). ,對光漏電的影響，針對LDD 長度對暗態漏電以及光漏電的不同影響，我們也提. 出討論以及定義出最佳的LDD 長度。 ... 1-1 An Overview of LTPS Technology. 1. , 現有的LTPS 工藝為LDD(Light Doped Drains)方式, 即在矽結晶後對溝道 ... 採用ELA 方式製作LTPS 的TFT時, 必須使用ELA 雷射結晶爐(MILC 則 ...
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