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高密度活性離子蝕刻系統. (HDP-RIE). ▫ 儀器功能:. ▫ 乾式蝕刻,以蝕刻Al材. 料為主. ▫ 重要規格:. ▫ 使用氣體包含BCl3、. Cl2、CF4、CHF3、Ar、. O2、SF6,ICP RF最大. https://www.sharecourse.net Buffered oxide etchant (BOE) 10:1 - 友購快
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緩衝氧化物刻蝕劑( BOE ),也稱為緩衝氟化氫(BHF 或Buffered HF ),是一種用在微小尺度加工的溼刻蝕劑。它的主要用途是蝕刻二氧化矽( SiO 2 -displaystyle -ce ... https://zh.wikipedia.org 4.1 蝕刻條件4.1.1 濕蝕刻
由 蕭文宏 著作 · 2004 · 被引用 1 次 — 以下分別分析比較DHF與BOE之不同。 一般半導體製程中在蝕刻二氧化矽通常是用BOE做為蝕刻液,因. 此首先以BOE為例。 https://ir.lib.nycu.edu.tw Ch9 Etching
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