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AirSentry II移動AMC檢測系統目的在於加強確定空氣分子污染(AMC) 監測計劃，是 ... 懸浮分子汙染分析儀可用於任何地點和任何時間，隨時使用; 於製程設備和廠務 ... , AMC = Airborne Molecular Contamination ... 各製程環境之AMC濃度限制要求. Table YE3 ... 可整合潔淨室廠務的設計有效減少污染源、交互污染.,積體電路製造股份有限公司三廠廠務機械資深工程師，負責:無塵. 室AMC系統/冰水 ... AMC(Airborne Molecular Contamination)懸浮氣態污染物意指環. 境中有能力 ... ,半導體廠務-製程/AMC微污染氣體分析系統. ,半導體廠務/製程/AMC微污染氣體分析系統. ,而目前則就職於台積電南科廠務機械工程師，主要工作專注於半導體廠空污防治設備管理與改善，另外也負責無塵室環境微汙染控制(AMC)管理，對於廠務系統運轉及 ... ,廢水處理過程之氣體逸散等，而內部作業所產生之污染包括：機台及廠務系統之 ... AMC)及固態微粒(particle)，近來文獻將氣態污染物歸納為五類，分別為酸. ,染物(airborne molecular contaminants, AMC) 對半導. 體廠 ... 隨著半導體導線線徑的縮減，氣態分子污染物(AMC) 的管制及監控方式也益受重視。 ... 廠務人員即根據. ,本文之案例探討即是AMC-MA 類的污染，酸. 的污染來源可分內部及外部產生，內部作業所產生. 之污染包括：製程機台及廠務系統維修保養(PM)、. 無塵室設備、材料逸 ... ,半導體工業製程相關儀器設備；半導體製程暨廠務分析設備；Molecular Analysis；氣體分析；氣體分析儀；半導體相關工安與製程分析設備；PPWD；PPWD-IC；AMC ...
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