Surfscan SP7
2018年7月17日 — Surfscan SP7系統為裸晶圓、平滑和粗糙的薄膜提供了前所未有的缺陷檢測靈敏度，這對於製造用於7nm邏輯與高級記憶體器件節點的矽基底非常重要，同時 ... ,2018年7月13日 — Surfscan SP7無圖案晶圓缺陷檢測系統採用實質性創新的光源和感測器架構，並實現了足以改變行業面貌的靈敏度，其分辨率與前一代市場領先的Surfscan 系統相 ... ,Surfscan SP7無圖案晶圓缺陷檢測系統採用實質性創新的光源和感測器架構，並實現了足以改變行業面貌的靈敏度，其分辨率與前一代市場領先的Surfscan 系統相比有著劃時代的 ... ,2020年12月14日 — 新的Surfscan SP7XP無圖形晶圓缺陷檢測系統的靈敏度和產出均有提升，並引入了基於機器學習的缺陷分類功能。相對於Surfscan SP7基準，這些缺陷分類功能 ... ,2020年12月15日 — 以Surfscan SP7为基准，新的Surfscan SP7XP无图案晶圆缺陷检测系统具有灵敏度和生产能力方面的进步，并引入了基于机器学习的缺陷分类方式，可以应对更 ... ,2020年12月7日 — Image Based Classification: (IBC) The Surfscan SP7XP applies revolutionary machine learning algorithms to defect images to accurately classify ... ,KLA公司製Surfscan系列SP7， 作為入射系統，具有： 斜向雷射光源(紫外光源)，使入射光對評估對象晶圓的塗佈層表面斜入射；以及垂直雷射光源(紫外光源)，經由鏡子使入射光對 ... ,2018年7月10日 — Surfscan® SP7 系統為裸晶圓、平滑和粗糙的薄膜提供了前所未有的缺陷檢測靈敏度，這對於. 製造用於7nm 邏輯和高級記憶體器件節點的矽基底非常重要 ... ,概述. The Surfscan® SP7XP unpatterned wafer inspection system facilitates qualification and monitoring of processes and tools for IC, wafer, equipment and ...
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KLA公司製Surfscan系列SP7， 作為入射系統，具有： 斜向雷射光源(紫外光源)，使入射光對評估對象晶圓的塗佈層表面斜入射；以及垂直雷射光源(紫外光源)，經由鏡子使入射光對 ... https://patents.google.com VoyagerTM 1015 和Surfscan® SP7 缺陷檢測系統
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概述. The Surfscan® SP7XP unpatterned wafer inspection system facilitates qualification and monitoring of processes and tools for IC, wafer, equipment and ... https://tw.moov.co |