Slurry 系統

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Slurry 系統 相關參考資料
研磨液供應系統(Slurry Supply System) - 竣泰有限公司

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中央供應系統 - 建越科技

中央Slurry供應系統主要依據客戶所需要之各種製程的研磨液,依據特性作稀釋或分析後,以循環方式之管路設計,不斷使研磨液在管路內保持流動以避免研磨液之沈澱所造成的影響 ...

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Slurry供給系統((SDS)Slurry Distribution System) - 關於菱洋

設備概要 - ILD STI W Cu Process用CMP Slurry稀釋供給系統 (Silica, Ceria, Aluminum Slurry的on site patch稀釋設備稀釋精度,目標比重±0.005 - POU直前混合系統

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研磨液供應系統 - 信紘科技

Central Slurry Supply System. 應用項目:大型中央供應系統,將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台 ...

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Local Slurry Supply System - 信紘科技

應用項目:中小型供應系統,將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台,以滿足各CMP製程之需求,適合新製程研發或量產前期研磨液供應使用。

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亞泰半導體設備股份有限公司

... 是亞太地區半導體製程使用之研磨液供應系統及化學品供應系統領導者; ... 包括研磨液供應中央/單一設備(Slurry Delivery System, SDS)、化學液輸送系統(Chemical ...

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研磨液供應機台 - 宸沅國際股份有限公司

研磨液供應機台. Slurry Dispense System,SDS. 宸沅國際提供晶圓廠、封測等工業高精準度快速混酸及供應系統,可適用於化學機械平坦化(CMP)各項製程使用 ...

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亞泰半導體揭化學研磨液供應系統嶄新一頁

... 化製程(Chemical-Mechanical Polishing;CMP)之間的重要橋梁,顯示化學研磨液混料傳輸系統(Slurry Dispensing and Delivery System;SDS)精準提供功能的重要性。

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先進製程液體輸送系統SDSCDS的全面進化模式

除此之外,化學研磨液供應系統(Slurry Dispense System;SDS)雖鮮為人知,卻肩負著精準乘載研磨液的完整樣態,供給化學機械平坦化(Chemical-Mechanical Planarization;CMP) ...

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