PSM Mask 原理

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PSM Mask 原理

,2018年3月2日 — 相移掩模種類很多,其改善光刻分辨力的機理和能力也有差異,但其基本原理主要是在掩模圖形的相鄰透光區引入180°(或其奇數倍)的位相差或再輔之以透過率 ... ,移相掩膜(Phase-Shifting Mask:PSM)指透過控制光的相位及透過率,改善對晶圓曝光時的分辨率及焦點深度(DOF:Depth of Focus),是提高了復刻特性的光掩模。 ,由 林志鴻 著作 · 2003 — 端強化二大原理,來增強解像度(Resolution)與焦深(Depth of Focus, DOF)。 ... 早期,相移圖罩(Phase-Shifting Mask, PSM)之概念是應用在. ,由 吳珮絹 著作 · 2012 — 瞭解在微影製程中光罩清洗手法原理. -比較各種清洗方法的優缺點 ... Mask, PSM)的觀念,其概念很簡單,就是在傳統光罩的圖形上,選. 擇性地在透光區加上透明,但能 ... ,... Shifting Mask, PSM )為本篇論文主要探討的技術。 PSM 的原理主要都是在原有的光罩上加上一層相位移層(Phase Shifter),來解決光源繞射的問題,避免干涉效應。 ,在光罩的製作技術部分,大致可以分成傳統光罩、相位移光罩技術( Phase Shift Mask;簡稱PSM)、光學近接修正光罩技術(Optical Proximity Correction;簡稱OPC)等三種。 ,相移掩模(Phase Shift Mask, PSM)是同时利用光线的强度和相位来成像,得到更高分辨 ... 相移掩模是一项通过改变光束相位来提高光刻分辨率,其基本原理是通过改变掩模 ... ,2017年9月27日 — 其基本原理是利用通過不帶相移層區的光線和通過帶相移層區(移相器、光線相位產生180°的移動)光線之間因相位不同產生相消干涉,從而改變了空間的光強分布, ...

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PSM Mask 原理 相關參考資料
相移掩模Phase Shift Mask (PSM) - 芯制造

http://www.chipmanufacturing.o

【光刻百科】相移掩模Phase Shift Mask (PSM)_光刻人的世界 ...

2018年3月2日 — 相移掩模種類很多,其改善光刻分辨力的機理和能力也有差異,但其基本原理主要是在掩模圖形的相鄰透光區引入180°(或其奇數倍)的位相差或再輔之以透過率 ...

https://www.gushiciku.cn

半導體器件用光掩模| TOPPAN INC. Electronics Division

移相掩膜(Phase-Shifting Mask:PSM)指透過控制光的相位及透過率,改善對晶圓曝光時的分辨率及焦點深度(DOF:Depth of Focus),是提高了復刻特性的光掩模。

https://www.toppan.co.jp

第一章緒論

由 林志鴻 著作 · 2003 — 端強化二大原理,來增強解像度(Resolution)與焦深(Depth of Focus, DOF)。 ... 早期,相移圖罩(Phase-Shifting Mask, PSM)之概念是應用在.

https://ir.nctu.edu.tw

國立交通大學機構典藏

由 吳珮絹 著作 · 2012 — 瞭解在微影製程中光罩清洗手法原理. -比較各種清洗方法的優缺點 ... Mask, PSM)的觀念,其概念很簡單,就是在傳統光罩的圖形上,選. 擇性地在透光區加上透明,但能 ...

https://ir.nctu.edu.tw

博碩士論文行動網

... Shifting Mask, PSM )為本篇論文主要探討的技術。 PSM 的原理主要都是在原有的光罩上加上一層相位移層(Phase Shifter),來解決光源繞射的問題,避免干涉效應。

https://ndltd.ncl.edu.tw

光罩工業及其製程技術之探討 - CTIMES

在光罩的製作技術部分,大致可以分成傳統光罩、相位移光罩技術( Phase Shift Mask;簡稱PSM)、光學近接修正光罩技術(Optical Proximity Correction;簡稱OPC)等三種。

https://www.ctimes.com.tw

相移掩模_百度百科

相移掩模(Phase Shift Mask, PSM)是同时利用光线的强度和相位来成像,得到更高分辨 ... 相移掩模是一项通过改变光束相位来提高光刻分辨率,其基本原理是通过改变掩模 ...

https://baike.baidu.com

提升面板精度?這個很貴很貴的相移掩模你也要了解一下- 每日 ...

2017年9月27日 — 其基本原理是利用通過不帶相移層區的光線和通過帶相移層區(移相器、光線相位產生180°的移動)光線之間因相位不同產生相消干涉,從而改變了空間的光強分布, ...

https://kknews.cc