電 漿 穩定
為什麼需要真空反應室來產生穩定電漿? 1. 電子在碰撞時會失去能量(fast electron vs. slow molecules/atoms). ,提供蝕刻系統一穩定的環境。將電漿蝕刻製程分為設備模型與製程模型兩段，如. 圖1-1 所示，而本論文著重在於電漿設備模型建立與控制上，即由設備的輸入參. ,全面性的解離崩潰而產生穩定的電漿。 已知電漿是由電子、正負電荷離子、中性氣體分子與活性自由. 基所組成的，因此電漿中氣相反應包含的物理現象與化學反應 ... , 核融合基本上是模仿太陽能內部產生能量的方法，將氫的兩種同位素氘、氚原子結合，形成一個較重的原子核與一個較輕的原子核。 假如要在反應爐內 ..., 不過，研究人員最近發現能降低電漿溫度和密度震盪的方法，朝向穩定的核融合能源躍進了一步。 普林斯頓大學（Princeton University）的電漿物理 ...,（3）能量較低之電漿並非完全游離，為一具離子電子及各激發態原分子之集合體。 ... 然而用此法局限電漿正如用橡皮筋綁住布丁般極不穩定，且由於各種耗散 ... , 若想將核融合反應在地球上重現，就必須保持超高溫的電漿穩定。最近，普林斯頓電漿物理實驗室（Princeton Plasma Physics Laboratory, PPPL）的 ...,電漿. 射頻功率. 暗區. 或. 鞘層. 電極. 至真空幫浦. 陰極. 4. 離子化 e＊ + A. A+ + 2 e. • 離子化碰撞產生電子和離子. • 它維持穩定電漿. • 在氣體中隨時存在之游離電子在 ... , 若想要把核融合帶出實驗室、成功在地球上打造一顆「恆星」，科學家首先得找出穩定核融合反應爐內電漿的方法，而近期普林斯頓大學電漿物理實驗 ...,括電感式電漿源，微波表面波電漿源,大氣電漿源，電漿浸沒離子佈植及電漿火炬等等。文中將簡介各式 ... 產生穩定之大氣輝光電漿之第二項要件為採用惰. 性氣體如氦 ...
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