電漿鞘層厚度
就再這般情況出現時，離子在電場中行經距離就會小於電漿鞘層厚度。這種頻率使得. 正極空間電荷部分保留於交流電場二個半週期之間，同時也幫助了再放電的 ... , 雖然宇宙空間充滿電漿，而且在現代工業生產中也漸漸地廣泛應用，但大多數人 ... 結果，電場只存在於平板周圍的一個厚度為德拜屏蔽長度的薄層內，而在電漿的其他 ... 瀕臨平板邊界數個德拜屏蔽長度厚的薄層，一般稱為鞘層。,因射頻負偏壓電. 位不同於直流負偏壓電位，工件表面的鞘層厚度. 與鞘層電位會隨時間而變，造成入射導體工件表. 面的能量也隨之改變。本研究建立一射頻電漿鞘. 層 ... ,用到電漿，在製程中利用離子轟擊金屬靶的表面，使之濺鍍沉積在晶. 圓表面上。 ... Bombardment），將一片基材放置在電極的上方，就可以利用鞘層電. 位所造成 ... ,sheath），此鞘層的特點是厚度為幾個德拜長度（Debye length），電位. 變化很大及電子密度很低。如Fig. 2-2 所示，電漿體相對於容器表面（圖. 中所示為接地 ... ,等离子体（又稱电浆），是物質狀態之一，是物質的高能狀態。其物理性質與固態、液態和氣態 ... 不過由於德拜鞘層的緣故，如果往等離子體中插入電極，所測量的電勢一般都會比等離子體電勢低很多。等離子體是良好的導電體，所以其內部的電場 ... , 如何產生人造電漿？ Page 14. 電漿鞘層. (sheath) ...,蝕刻技術中，正離子經由電漿鞘層(Plasma Sheath)加速 ... 在奈米碳管成長中，電漿鞘層的電場則能達到高 ... 的離子數與佈植靶材的離子數相等時，鞘層厚度趨於. ,
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 電漿鞘層厚度 相關參考資料
plasma
就再這般情況出現時，離子在電場中行經距離就會小於電漿鞘層厚度。這種頻率使得. 正極空間電荷部分保留於交流電場二個半週期之間，同時也幫助了再放電的 ... http://www.mse.nchu.edu.tw 奇妙的物質第四態——電漿－科技大觀園
雖然宇宙空間充滿電漿，而且在現代工業生產中也漸漸地廣泛應用，但大多數人 ... 結果，電場只存在於平板周圍的一個厚度為德拜屏蔽長度的薄層內，而在電漿的其他 ... 瀕臨平板邊界數個德拜屏蔽長度厚的薄層，一般稱為鞘層。 https://scitechvista.nat.gov.t 射頻電漿鞘層與加工件溫度分佈之研究
因射頻負偏壓電. 位不同於直流負偏壓電位，工件表面的鞘層厚度. 與鞘層電位會隨時間而變，造成入射導體工件表. 面的能量也隨之改變。本研究建立一射頻電漿鞘. 層 ... http://www.etop.org.tw 第一章、緒論
用到電漿，在製程中利用離子轟擊金屬靶的表面，使之濺鍍沉積在晶. 圓表面上。 ... Bombardment），將一片基材放置在電極的上方，就可以利用鞘層電. 位所造成 ... http://ir.lib.ksu.edu.tw 第二章文獻回顧
sheath），此鞘層的特點是厚度為幾個德拜長度（Debye length），電位. 變化很大及電子密度很低。如Fig. 2-2 所示，電漿體相對於容器表面（圖. 中所示為接地 ... https://ir.nctu.edu.tw 等离子体- 维基百科，自由的百科全书
等离子体（又稱电浆），是物質狀態之一，是物質的高能狀態。其物理性質與固態、液態和氣態 ... 不過由於德拜鞘層的緣故，如果往等離子體中插入電極，所測量的電勢一般都會比等離子體電勢低很多。等離子體是良好的導電體，所以其內部的電場 ... https://zh.wikipedia.org 電漿
如何產生人造電漿？ Page 14. 電漿鞘層. (sheath) ... http://scistore.colife.org.tw 電漿源原理與應用之介紹
蝕刻技術中，正離子經由電漿鞘層(Plasma Sheath)加速 ... 在奈米碳管成長中，電漿鞘層的電場則能達到高 ... 的離子數與佈植靶材的離子數相等時，鞘層厚度趨於. https://www.ps-taiwan.org 高密度電漿源設計製作及其應用在半導體製程之發展情況
http://ejournal.stpi.narl.org. |