鋁導線製程
為了滿足半導體製程對良率，可靠度與效能的要求，就金屬化製程探討其製程參數對鋁銅導線效能的影響，包含熱遷移(或凸起產生)與電致遷移。在本研究中，內連線結構是在具 ... ,鋁導線製程—先將晶圓以物理氣相沉積的濺鍍方式(physical vapor deposition―sputtering)覆蓋鋁膜，鋁膜上塗布光阻(photoresist)，再經微顯影方法使光阻精準的繪出導線的分布圖案，再經等離子氣相蝕刻(plasma etch)，使鋁膜按光阻之圖案，移除該移除之部分，而存留的鋁，即是 ... ,閘極與局部連線. • 從70年代中期取代鋁. • 高溫穩定性. – 佈值後的高溫退火製程. 鋁閘極不能適用上述製程來自我對準的源極/汲. – 鋁閘極不能適用上述製程來自我對準的 ... ,2023年1月4日 — 鋁線在電感變壓器中用到的極少，但較多行業為了節約銅材稀缺資源，開發了一種新材料“銅包鋁線”，是指在鋁線上包覆一層銅層，並使銅和鋁界面上的原子鍵產生 ... ,自有半導體元件以來，晶片製造商就將鋁當成主要的導線材料，這是因為鋁在電路圖案的沉積和蝕刻十分容易；但以鋁作為導線的傳統製程晶片，其缺點在於當導線變得很細時， ... ,鋁線因熔點較低且易於加工，因此在某些大量且加工. 性較好的鋁材會省略製造圓錠的程序，而直接從熔湯製造線材，亦即所謂的線材連續鑄造軋延. 法（CCR 法：Continuous ... ,採用銅作為導線的製造方法就稱為「銅導線製程技術」，而率先研究銅製程成功的IBM，申請這項技術專利時將它取名為「大馬士革」(Damascene)。 採用銅來取代鋁作為導線最 ... ,銅連線製程最大的挑戰，在於引. 進低介電絕緣層時衍生的製程整合及. 可靠性問題，圖二描述銅與低介電值. 製程整合時所需面臨的各種問題，包. 括各介電層間及其與金屬層之 ... ,由 邵順裕 著作 · 2015 — 本文主要研究高耐熱鋁導線之材料配比設計，以及鋁合金熔鑄及擠型等製程技術。本研究開發之鋁鑄錠，以4N以上純鋁當作熔煉基材，搭配鈧（Sc），鋯（Zr），矽（Si）等金屬提升 ...
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半導體內連線的金屬化製程參數對鋁銅導線效能的影響
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