遠端電漿產生器

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遠端電漿產生器

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Chapter 7 電漿的基礎原理

8. 平行板電極(電容耦合型). 電漿系統. 電漿. 射頻功率. 暗區或. 鞘層. 電極. 到真空幫 ... 電漿. 微波或射頻功率. 製程反應室. 副產物被真. 空幫浦抽走. 遠端電漿. 產生室.

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MKS推出新一代壓力檢測、氣體及製程控制方案 - 電子工程專輯.

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Plasma

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电浆原理for ASE Trainning_图文_百度文库

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維修服務- 鎧泰科技|設計和開發半導體、真空鍍膜等高科技產業

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遠端電漿電源產生器 - 鎧泰科技|設計和開發半導體

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