磷酸蝕刻液
效果都不佳，不過值的注意的是，高溫的磷酸與KOH、NaOH 是少數對GaN. 具有較佳蝕刻效果的蝕刻液。 第一章我們有提到，GaN 結構會因為不同晶格面有不同的 ... ,此外，磷酸類的蝕刻液近期也逐漸被業界所採用。 鈦(Ti)和鈦鎢合金(TiW) UBM蝕刻. 鈦(Ti)和鈦鎢合金(10%Ti/ 90 ... ,為了讓蝕刻的速率穩定並延長化學品使用時間，常會在蝕刻液中加入介面活性劑及 ... 值得一提的是，以熱磷酸對氮化矽及二氧化矽的蝕刻選擇比大於20 : 1，且於蝕刻 ... , 另外一般濕式製程中的蝕刻及清洗則使用大量的酸鹼溶液，基本上有氫氟酸(HF)、硝酸(HNO3)、硫酸(H2SO4)、磷酸(H3PO4)、鹽酸(HCIl及氨(NH3) ..., 半導體製程之金屬蝕刻液。 製造商或供應商 ... 鋁蝕刻液(Aluminum Etch). 同義名稱： ... 磷酸7664-38-2﹔硝酸7697-37-2﹔醋酸64-19-7. 四、急救 ...,Short title, Name, Chinese name, Application Notes, Ask Products. ACE, Acetone · 丙酮 · (product). AL Etch, Aluminum Etch · 鋁蝕刻液 · (product). BOE, Buffered ... ,氫氟酸(HF)溶液. 通常稀釋在緩衝液或去離子水以減緩蝕刻速率. SiO2 + 6HF H2SiF6 + 2H2O. 氮化矽的濕式蝕刻. ▫. 熱(150 到200 °C) 磷酸溶液. ▫. 對二氧化矽有高 ... ,蝕刻氮化矽，磷酸可將Si3N4轉化為SiO2。 做為緩衝溶液。 作為皮革處理及洗滌劑的分散媒。 作為保養品中pH值的 ... ,論文摘要鋁蝕刻是半導體與薄膜電晶體液晶顯示器產業主要製程之一，在國內每年產生1.5萬噸的廢鋁蝕刻液，其中有1.2萬噸的磷酸。本研究主要在於探討回收與純化 ...
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第二章 實驗原理
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半導體製程之金屬蝕刻液。 製造商或供應商 ... 鋁蝕刻液(Aluminum Etch). 同義名稱： ... 磷酸7664-38-2﹔硝酸7697-37-2﹔醋酸64-19-7. 四、急救 ... http://www.taimax.com.tw 台灣波律股份有限公司TAIWAN MAXWAVE CO., LTD.
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氫氟酸(HF)溶液. 通常稀釋在緩衝液或去離子水以減緩蝕刻速率. SiO2 + 6HF H2SiF6 + 2H2O. 氮化矽的濕式蝕刻. ▫. 熱(150 到200 °C) 磷酸溶液. ▫. 對二氧化矽有高 ... http://homepage.ntu.edu.tw 磷酸- 维基百科，自由的百科全书
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論文摘要鋁蝕刻是半導體與薄膜電晶體液晶顯示器產業主要製程之一，在國內每年產生1.5萬噸的廢鋁蝕刻液，其中有1.2萬噸的磷酸。本研究主要在於探討回收與純化 ... https://ndltd.ncl.edu.tw |