燃燒式scrubber
Scrubber Systems)加以處理；少數高反應性的特殊氣體在排出後，. 需立即由局部尾氣處理 ... 內，並加以火柴等起火源時，將發生燃燒現象，. 例如：SiH4、 ... ,台灣所使用之Local Scrubber 約有十幾種廠牌型號，而依其原理大概可. 分電熱水洗式、燃燒式、填充水洗式、乾式吸附式..等，端視使用者的需求而. 決定應使用何 ... ,燃燒水洗式廢氣處理機是一個專門處理含氟性氣體的廢氣處理系統，它混合了高溫燃燒分解及水溶解的過程，將製程所產生的廢氣，經由反應室二階段的高溫燃燒， ,燃燒水洗式廢氣處理機是一個專門處理含氟性氣體的廢氣處理系統，它混合了高溫燃燒分解及水溶解的過程，將製程所產生的廢氣，經由反應室二階段的高溫燃燒， ,燃烧式Scrubber特气尾气处理装置处理气体种类 可处理气体种类包括半导体、液晶以及太阳能等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中使用的特气，主要 ... ,理設備（Local Scrubber）進行第一階段的源頭處理，削減率可達95% 以上，之後再送到 ... 式洗滌塔，相較於一般單段洗滌塔，填充層厚度增 ... 燃燒性及酸鹼氣體. ,燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理氣體種類 可處理氣體種類包括半導體、液晶以及太陽能等行業中蝕刻制程與化學氣相沉積制程中使用的特氣，主要 ... ,燃燒式Scrubber產品系列LARCH，即是針對LED產業的MOCVD製程而設計，可處理常見的大流量廢氣，如氫和氨。 更多資訊. 水洗式Scrubber-水溶性物質. 水洗 ... ,燃燒式scrubber/水洗廢氣處理系統可以針對幾乎所有製程廢氣處理，技術涵蓋各種類型的廢氣處理設備用來處理不同的有害廢氣，減少廢氣排放。
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第一章緒論
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