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local scrubber種類

理設備（Local Scrubber）進行第一階段的源頭處理，削減率可達95% 以上，之後 ... 排放種類. 法規標準. 台積公司做法. 酸性排氣系統. • 設備洗滌循環水槽之酸鹼值應 ... , Local Scrubber)由設備部門負責初級處理完成到某個階段後，廠. 務排氣系統才 .... 大宗氣體供應系統氣體種類包含CDA、 GN2、AN2、AO2、 AAAr、.,抽真空泵浦: Dry pump、Turbo pump. ❖ 尾氣排放物種: C, N, O, Cl, F,. ❖ 尾氣排放有無獨立之Local Scrubber: 水洗式, 燃燒箱. ❖ 冷卻系統種類: He, 廠務供應冷卻水. ,台灣所使用之Local Scrubber 約有十幾種廠牌型號，而依其原理大概可. 分電熱水洗式、燃燒 ..... 此量測結果可用來瞭解製程尾氣(含副產物)的種類、濃度及其危害性。 ,關鍵字:半導體、異常事故、風險評估、Local Scrubber、HazOp. -i- ..... 以晶圓廠為例，製程中使用到的化學物質種類繁多，所用到的原物料. 或副產物含有多種有害性 ... ,設備（Local Scrubber）所佔比例為最高252 件，約占百分比25％。本研究針對 ...... 半導體產業因製程的需求，所使用到的化學物質種類相當繁雜，而這些特殊氣體與. , 磷.硼.氯.氫氣.還有許多你一輩子在路上都聞不到的易爆強酸強鹼的氣體.所以一定要小心.. local scrubber 種類有吸附式.電熱式.水塔式.還有燃燒式.,需立即由局部尾氣處理系統(Local Scrubber Systems)轉化為比較穩. 定的成份，而後 ..... 半導體產品的製造中，使用了許多不同種類的製程氣體，隨著. 不同製程的 ... ,塗裝室. 發電變電室. 事務室. 一般建築. 一般作業室. 6. 工廠. 換氣次數. 場所種類 ..... Fume Exhaust、HVAC、Gas Cabinet、Local Scrubber). 為災害發生之主要原因.

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第三章製程尾氣處理研究實驗設備3.1 製程尾氣處理設備Local scrubber

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