半導體污染防治
... 負責:無塵. 室AMC系統/冰水空調系統/AAS空氣污染防治設備環保專責人員。 ... 結在乾淨表面之化學物質(水除外)，所以在半導體廠會凝結於晶圓. 上。如：矽康、碳氫 ... , 而七月份環保署即將實施的「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」，以及新竹縣環保局通過的「新竹工業園區空氣品質改善計劃」根本達不到防治 ...,空氣污染防治技術. 半導體元件的製造過程不容許空氣中含有過多微粒，會影響產品的品質，所以需要有非常乾淨的環境來進行半導體製造。符合需求的設計就是無塵 ... ,由於半導體積體電路製程中，因涉及許多複雜之原物料使用情形，故本研究藉由 ... 黃光設備單元及晶片測試單元等主要製程區；另此製程經污染防治設備處理後由煙道 ... ,論文中文摘要：, 由於半導體積體電路製程中，因涉及許多複雜之原物料使用情形，故 .... 【13】 劉希平，「VOC 自廠排放係數建立之探討與建議」，工業污染防治，第106 ... ,第一條本標準依空氣污染防制法第二十條第二項、第二十二條第二項及第二十三條. 第二項規定訂定之。 第二條本標準專有名詞及符號定義如下：. 一、半導體製造業：指 ... ,等不同製程單元操作，將半導體產業大致區分為半導體材料. (含化學品)、光罩、 ...... 經濟部工業局，「半導體製造業污染防治技術」，民國84 年6 月。 9.經濟部工業局，「 ... ,第 1 條本標準依空氣污染防制法第二十條第二項、第二十二條第二項及第二十三條第二項規定訂定之。 第 2 條本標準專有名詞及符號定義如下： 一、半導體製造業：指 ... ,環保技術輔導計畫. 行業製程減廢及污染防治技術－半導體業介紹. 一、半導體業定義. 依據行政院環保署公告半導體製造業之定義，係屬晶圓製造及半. 導體製造業：以 ... ,理之現象：(a)「三氯乙稀」於半導體業及印刷電路板業有不同之排放標準。(b)半 ..... 進行產業調查、製程特性分析、污染排放及防治現況調查、國內外法規比較等。
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