pvd cvd比較
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PVD、 CVD製程簡介 ... CVD的Step Coverage比PVD要好(很重要!!) .... 熱阻式蒸鍍比較適合金屬材料的靶材,光學鍍膜常用的介電質(dielectric). http://www.ene.isu.edu.tw 何謂CVD製程與PVD製程| Yahoo奇摩知識+
CVD稱為化學氣相沉積,也就是利用化學反應,讓二種原本不相甘的材料經過化學反應的方式產生另一個新的化合物,然後沉積在你的基板上面。 https://tw.answers.yahoo.com 物理氣相沉積(PVD)介紹
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