optical proximity correction中文

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,OPC光罩Optical Proximity Correction Mask。光學近接修邊襯光罩。 OPC技術是利用各種專業軟體在傳統光罩上加各種不同 ... ,中文摘要. 光學顯影技術(Optical lithography) 一直是晶圓製造過程中重要的一環, ... 學鄰近修正(Optical proximity correct, OPC)計算來校正光罩上的圖形,但是這類. ,光學接近修正(Optical Proximity Correction;OPC)是讓現有光刻設備能夠不斷向下挑戰微影尺寸極限的一種技術。隨著制程製程的微縮、微影光罩技術的盛行,晶圓廠 ... ,在各種解析度增強技術的方法之中,光學鄰近修正. (optical proximity correction, OPC)是額外考慮未來光罩在曝光時會產生的繞射. 效應,為了避免曝光後的結果與預期 ... ,光學鄰近效應修正(Optical. Proximity Correction, OPC)方法是一. 種將解析度提高的技術(Resolution. Enhancement Technique, RET), 一. 般是使用數學計算的方式 ... ,中文摘要: 在半導體製程裡,光學鄰近修正(Optical proximity correction, OPC)是一種常用來改善光罩圖形失真問題的光. 學蝕刻方法,可以藉由它來補償原始的光罩 ...

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optical proximity correction中文 相關參考資料
360°科技-光學接近修正 - Digitimes

http://www.digitimes.com.tw

OPC光罩 - 解釋頁

OPC光罩Optical Proximity Correction Mask。光學近接修邊襯光罩。 OPC技術是利用各種專業軟體在傳統光罩上加各種不同 ...

http://178.taiwanlife.com

中華大學碩士論文

中文摘要. 光學顯影技術(Optical lithography) 一直是晶圓製造過程中重要的一環, ... 學鄰近修正(Optical proximity correct, OPC)計算來校正光罩上的圖形,但是這類.

http://chur.chu.edu.tw

光學接近修正(Optical Proximity Correction) - 財經 ... - MoneyDJ

光學接近修正(Optical Proximity Correction;OPC)是讓現有光刻設備能夠不斷向下挑戰微影尺寸極限的一種技術。隨著制程製程的微縮、微影光罩技術的盛行,晶圓廠 ...

https://www.moneydj.com

基於影像對光學鄰近修正(OPC) 後之佈局間隔檢測之前置過濾方法

在各種解析度增強技術的方法之中,光學鄰近修正. (optical proximity correction, OPC)是額外考慮未來光罩在曝光時會產生的繞射. 效應,為了避免曝光後的結果與預期 ...

https://ir.nctu.edu.tw

微影技術 - 國立臺灣大學- 電機工程學系

光學鄰近效應修正(Optical. Proximity Correction, OPC)方法是一. 種將解析度提高的技術(Resolution. Enhancement Technique, RET), 一. 般是使用數學計算的方式 ...

https://ee.ntu.edu.tw

混合式光學鄰近效應修正之平行處理演算法

中文摘要: 在半導體製程裡,光學鄰近修正(Optical proximity correction, OPC)是一種常用來改善光罩圖形失真問題的光. 學蝕刻方法,可以藉由它來補償原始的光罩 ...

http://www.etop.org.tw