optical critical dimension中文
"dimension" 中文翻譯: n. 1.尺寸。 2.【數學】次元,度(數),維(數)。 ... "cd:critical dimension" 中文翻譯 ... ,... Malti · Norsk · Nederlands · Polski · Português · Română · Русский · Slovenčina · slovenščina · Svenska · ไทย · Türkçe · українська · اردو · Việt Nam &mi,形,CD (critical dimensions)大小,重合是否對準(alignment),及是否有缺陷(defect)。 微影製程的三大步驟: 1.光阻覆蓋(photo resist coating):將有機光阻塗在晶片 ... ,2017年5月14日 — 刻蝕偏差又叫線寬損失(CD Bias),是指刻蝕前後關鍵尺寸(Critical Dimension,CD)的變化。如圖4所示,Wa表示刻蝕後的線寬,Wb為刻蝕 ... ,論文名稱(外文):, Optimization of Critical Dimension (CD) Measurement Metrology. 指導教授: 陳家富. 學位類別: 碩士 ... 語文別: 中文. 論文頁數: 63. 論文摘要半導體 ... ,2019年10月15日 — ASML 指出,萊利公式為CD=k1 x ( λ / NA),描述了重要參數間的對應關係,CD(Critical Dimension)中文譯作關鍵尺寸或臨界尺寸,而k1 為變 ... ,Optimization of Critical Dimension (CD) Measurement Metrology. 研究生: 黃閔 ... 中文摘要… ... 尺寸(Critical Dimension, CD)量測原理與控制方式、先進製程控制. ,Critical dimension (CD) is the smallest size which must be resolved in specific ... In the fabrication of integrated circuit, reliable CD measurement is the key ... ,2019年10月9日 — 萊利公式(Rayleigh Criterion)CD=k1 x ( λ / NA),描述了重要參數間的對應關係:其中CD(Critical Dimension)中文譯作關鍵尺寸或臨界 ... ,關鍵尺寸(Critical Dimension,簡稱CD)是指在積體電路光掩模製造及光刻工藝中為評估及控製工藝的圖形處理精度,特設計一種反映積體電路特征線條寬度的專用 ...
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