ndl i line stepper
The FPA-3000 i5+ is a high productivity mix-and-match Stepper. Its wide-field ... This extensively field-proven veteran of the Canon Stepper line-up has been a ... ,本文件主要是介紹使用NDL I-line stepper 破片曝光平. 台的使用規範，以協助使用者了解下線的條件限制、. 破片尺寸、光罩layout、曝光流程等規則，期使達成. ,L05C I-line stepper 破片線曝光條件與製程規格. 破片種類: 厚度< 720 um 之Si、化合物半導體、glass等. 破片尺寸: 25*25 (標準) 、 12*12、20*20、40*40 mm2 、2”、4 ... ,L05C I-line Stepper 破片線代工注意事項. 106.06.27 修訂. 1. 破片線代工的標準尺寸: 2.5cm*2.5cm，非標準尺寸請洽工程師是否可提供. 服務。 2. 破片厚度: 必須 ... ,玻璃罩製作必須額外支付材料費, 不開放, 1,000 元/片. CF-L02W, Leica e-beam電子束直寫系統, 0, 167, 0, 217, 26,000. CF-L05, I-line stepper-I-line 光學步進機, 0 ... ,顯影液. 放置區. 化學品. 供應櫃. 冷卻水. 氣體. 溫濕度控制. 溫控. 黃光微影. 區二. Hitachi S9260A. Main unit. (2430*1200). New i-line stepper. (2650*1950). ,玻璃罩製作必須額外支付材料費, 不開放, 1,000 元/片. CF-L02W, Leica e-beam電子束直寫系統, 0, 167, 0, 217, 26,000. CF-L05, I-line stepper-I-line 光學步進機, 0 ... ,L05, I-line stepper-I-line 光學步進機, 負責-許進財 代理-鄭旭君, 7648 7644, L05-A ... L06, In-line SEM-線上電子顯微鏡, 負責-陳世哲 代理-許進財, 7647 7648, L06-A ... , 儀器設備作業標準(CF-L05 I-line 光學步進機). 文件制修訂 ... Hg Lamp、HeNe Laser、Stepper、Work Station 的燈號是否都正確。 4. 檢查曝光 ... 將光罩置入空光罩盒內，請注意鉻(Cr)膜面朝下，並依照光罩盒內方向指標擺放， NDL.
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