lpcvd pecvd比較
Passivation。 因為LPCVD Nitride 沈積溫度太高,因此Passivation Layer 應用上,. Nitride 都是以PECVD 方式來製作。以下是PECVD Nitride 的沈積反應. 式:. )(2. )(.
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LPCVD TEOS Oxide
Passivation。 因為LPCVD Nitride 沈積溫度太高,因此Passivation Layer 應用上,. Nitride 都是以PECVD 方式來製作。以下是PECVD Nitride 的沈積反應. 式:. )(2. )(. http://www.ndl.narlabs.org.tw |