kla量測
2023年11月1日 — 2. 光學式量測設備（Optical Profiler），包含ZETA及Filmetrics之設備。 針對測量薄膜，塗層和材料進行壓痕，硬度，划痕和通用奈米級測試。 1. 應力量測 ... ,2023年11月13日 — 膜厚量測儀、接觸式輪廓儀可量測樣品表面的形狀，辛耘引進KLA Corporation最專業的膜厚量測儀、接觸式輪廓儀，為各種量測情況所量身打造的最佳解決 ... ,NanoPoint 可延伸光學檢測，透過專注檢測於對良率⾄至關重要的圖形位置，以利偵測出極其細微的缺陷。 2920 系列能夠以量產的產能在整個晶圓上捕獲極其細微的、影響良率 ...,在半導體製程越來越複雜的情況下，KLA協助客戶做關鍵或是困難的製程量測，幫助客戶能夠加快解決製程問題的速度進而加速量產時程且維持高良率。 半導體有五大製程（黃光、 ... ,2020年3月25日 — 針對先進的3D NAND、DRAM和邏輯積體電路(IC)檢測需求，KLA不久前發佈了最新的392x和295x光學缺陷檢測系統和eDR7380電子束缺陷檢視系統。392x和295x ... ,ASET-F5x Pro薄膜量测系统提供经济可靠且高精度的薄膜测量，可针对各种薄膜堆叠和几何形状的薄膜测量其厚度、折射率和翘曲度/应力等。该系统的功能特点可为物联网、汽车和 ... ,KLA Instruments提供关于光学轮廓仪、探针式轮廓仪，纳米压痕仪、薄膜厚度仪、方块电阻测试仪以及晶圆缺陷检测和量测系统等产品及解决方案。我们是表面量测领域的 ... ,量测. KLA 的量测系统可满足一系列芯片和基板制造应用的需求，其中包括设计可制造性验证、新工艺表征和大批量制造工艺监控。通过精确测量图案尺寸、薄膜厚度、层间 ... ,KLA 用於印刷電路板製造環境的製程控制解決方案組合，包括適用於先進缺陷檢測的自動光學檢查(AOI) 系統，以及適用於3D 與2D 測量的面板量測系統。
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