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SPM-8100FM : SHIMADZU (Shimadzu Corporation)

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SPM-9700HT - Features : SHIMADZU (Shimadzu Corporation)

The HT scanner can also be added to an existing SPM-9700 unit to enable high-throughput observation.

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SPM-9700HT : SHIMADZU (Shimadzu Corporation)

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國立交通大學機構典藏- 交通大學

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最常使用之晶圓表面清潔步驟為濕式化學法

Piranha(SPM) 硫酸/過氧化氫/DI. 水. H2SO4/H2O2/H2O. 微粒. SC-1(APM). 氫氧化氨/過氧. 化氫/DI 水. NH4OH/H2O2/H2O. 有機物. SC-1(APM). 氫氧化氨/過氧化.

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