hard mask作用
... 使用3層抗阻劑或硬罩（hard mask），因此微細化製程技術會更複雜。 .... 光阻交互作用，會對不同光阻劑造成程度傷害，因此也必須改良相關技術。, 其作用為在一懸浮結構上，電性隔離左右兩側電極。 ... 目的有二：做為蝕刻過程的「硬質罩幕層」（hard mask）；用來抵消懸浮結構的殘餘應力（residual ...,critical dimension (CD) of Deep Trench Poly Hard Mask Open (DTPHMO) process. ...... 抗反射塗佈層為光阻與其下層薄膜材質之間的介質層，其主要作用有二[16]：. ,蝕刻技術（Etching）簡單的概念就是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而. 移除的技術。 ..... 為遮罩（或稱為硬遮罩Hard Mask）來改善。另外，圖形間距越小或氧化層 ... ,而中間的蝕刻終止層，其作用則是使trench之蝕刻深度得以精確控制及一致化。 ... 沉積之介電層上再沉積一層數百埃的薄氮化矽作為所謂的硬質罩幕層(hard mask)， ... , 撞擊作用而移除的技術。 ... 作用，或者可能是電漿中活性自由基(Radical)與晶片表面原子間的化學 ..... 作為遮罩，或稱為硬遮罩(Hard Mask)?改善。, 蝕刻是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。 ..... 因此使用除了光阻以外的材料來作為遮罩，或稱為硬遮罩(Hard Mask)來改善。,蝕刻是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。 ... 整個高寬比將高達4~6，因此使用除了光阻以外的材料來作為遮罩，或稱為硬遮罩(Hard Mask)來改善。 , 乾蝕刻通常是一種電漿蝕刻(Plasma Etching)，由於蝕刻作用的不同，電漿中 ... 除了光阻以外的材料來作為遮罩，或稱為硬遮罩(Hard Mask)來改善。
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... 使用3層抗阻劑或硬罩（hard mask），因此微細化製程技術會更複雜。 .... 光阻交互作用，會對不同光阻劑造成程度傷害，因此也必須改良相關技術。 http://www.hope.com.tw 國科會補助專題研究計畫成果報告自評表
其作用為在一懸浮結構上，電性隔離左右兩側電極。 ... 目的有二：做為蝕刻過程的「硬質罩幕層」（hard mask）；用來抵消懸浮結構的殘餘應力（residual ... http://www.etop.org.tw 國立交通大學機構典藏
critical dimension (CD) of Deep Trench Poly Hard Mask Open (DTPHMO) process. ...... 抗反射塗佈層為光阻與其下層薄膜材質之間的介質層，其主要作用有二[16]：. https://ir.nctu.edu.tw 國立政治大學 - 政大機構典藏
蝕刻技術（Etching）簡單的概念就是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而. 移除的技術。 ..... 為遮罩（或稱為硬遮罩Hard Mask）來改善。另外，圖形間距越小或氧化層 ... http://140.119.115.26 大馬士革鑲嵌@ kodakku's Blog :: 痞客邦::
而中間的蝕刻終止層，其作用則是使trench之蝕刻深度得以精確控制及一致化。 ... 沉積之介電層上再沉積一層數百埃的薄氮化矽作為所謂的硬質罩幕層(hard mask)， ... http://kodakku.pixnet.net 蚀刻技术(Etching Technology)_百度文库
撞擊作用而移除的技術。 ... 作用，或者可能是電漿中活性自由基(Radical)與晶片表面原子間的化學 ..... 作為遮罩，或稱為硬遮罩(Hard Mask)?改善。 https://wenku.baidu.com 蝕刻技術(Etching Technology) www.li-fung.biz - 非傳統加工科技館 ...
蝕刻是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。 ..... 因此使用除了光阻以外的材料來作為遮罩，或稱為硬遮罩(Hard Mask)來改善。 http://blog.sina.com.tw 蝕刻技術(Etching Technology)www.tool-tool.com - Le blog de willy
蝕刻是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。 ... 整個高寬比將高達4~6，因此使用除了光阻以外的材料來作為遮罩，或稱為硬遮罩(Hard Mask)來改善。 http://beeway.over-blog.com 請問蝕刻設備工程師?是做什麼事?接觸到什麼氣體? | Yahoo奇摩知識+
乾蝕刻通常是一種電漿蝕刻(Plasma Etching)，由於蝕刻作用的不同，電漿中 ... 除了光阻以外的材料來作為遮罩，或稱為硬遮罩(Hard Mask)來改善。 https://tw.answers.yahoo.com |