euv黃光
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ChenMing Wang - EUV黃光製程副理- 台積電| LinkedIn
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2015年11月8日 — 邱銘乾所撰寫有關EUV 的文章. ... 寬與光源的波長成正比，因此，為了要得到更小的線寬，半導體黃光製程不得不改採波長更短的光源來做曝光。 https://chiu.life EUV黃光微影技術介紹| 銘乾的分享空間
2015年11月8日 — 什麼是半導體產業EUV的技術與應用. ... 光源的波長成正比，因此，為了要得到更小的線寬，半導體黃光製程不得不改採波長更短的光源來做曝光。 https://chiu.life Re: [請益] 5、7nm的光阻跟14nm的不同嗎? - tech_job | PTT職 ...
2019年12月3日 — 一般來說，7nm，5nm用到EUV，光阻就會跟14nm相異。如果7nm，5nm ... 13F推a810086: 認真文推一個，黃光製程基礎入門課12/03 18:11. https://pttcareer.com [請益] GG黃光設備- ptt 網頁版Tech_Job 看板 - 熱門看板
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EUV(Extreme UV；極短紫外光)的波長為157奈米，由於EUV存有技術瓶頸問題，為光穿過步進機(Stepper)的透鏡鏡頭到達光阻時，光阻問題即被彰顯出來，因此有些 ... https://www.ctimes.com.tw |