etching process中文

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Chap9 蝕刻(Etching)

Application of Wet Etching. ◇Film stripping ... Etch rate higher than 1um/min of LPCVD Si. 3. N. 4 ... Plasma used in IC process is a weakly ionized discharges.

http://waoffice.ee.kuas.edu.tw

etching process - 英中– Linguee词典

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etching漢語(繁體) - Cambridge Dictionary

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應用實驗設計法尋找接觸孔蝕刻之製程條件最佳化

中文關鍵詞:, 實驗分析法 ; 蝕刻 ; 接觸孔蝕刻. 英文關鍵詞:, Designed of Experiments ; Etch ; Contact Hole Etch. 論文中文摘要:, 在積體電路製程中,常常需要在晶 ...

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蝕刻技術

▫How to Control Etching Process? ... Relative (ratio) of the etch rate of the film to the mask ... 國立清華大學材料科學工程學系. Mechanism of the Etching. Process.

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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 - 國立交通大學 ...

中文關鍵詞: 感應耦合電漿、乾蝕刻、高分子、保護層、懸浮、單晶矽. 英文摘要: In recent year, ... recipe of high- aspect-ratio etching process parameters have been ...

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