ekc溶劑
本发明提供了一种半导体晶圆蚀刻后的深孔清洗方法，其包括：采用EKC溶液对刻蚀后的半导体晶圆进行第一次清洗，其中，EKC溶液为NMP溶剂和带有碱性的胺的 ... ,EKC是什么有机溶剂是什么成分组成的 10. RT. tq2404635 2010-04-02. 我要回答. 可选中1个或多个下面的关键词，搜索相关资料。也可直接点“搜索资料”搜索整个 ... ,高沸點的溶劑(去光阻劑/光阻剝離劑、樹脂溶劑等)，例如ACT-935，EKC-162、EKC-265、EKC-800、EKC-830、EKC-922、N-300、RNS-409及TOK-106等，這些 ... ,... 在fab裡, 只要是三個英文縮寫的chemical都要小心, ex, nmp, ipa, ekc, act,ebr, ... 而隨著國內光電及半導體產業成為國內之主流產業，作為泛用清洗溶劑的NMP， ... ,降低EKC廢液及延長化學品生命週期方案，每年降低廢EKC溶劑28.8公噸。 CMP 研磨廢液減量，每年減少使用研磨液220,902公升。 取消Polyimide rework 專用槽， ... ,膽鹼（蛋黃素，choline）. – 第三級胺（teritary amine）. • 溶劑：. – 異丙醇（isopropanol，isopropyl alcohol，IPA）. – 乙醇（ethanol）. – 三氯乙烯（trichloroethylene，TCE）. ,延長換酸時間，降低EKC使用量, EKC solvent延長換酸, 11,213 kg/年EKC使用量 ... 低閃火點廢溶劑試驗計劃, 由廠商回收再製成塗料稀釋劑或香蕉水調配劑, 世全 ... ,光電及半導體廠的廢溶劑基本上以濃度區分為三種：(1)含高濃度廢溶劑廢水：其溶劑比例大於20%，回收價值高，可用蒸餾技術回收；(2)含中濃度廢溶劑廢水：其溶劑 ... ,高科技產業製程有機排氣高沸點VOCs有機溶劑回收技術討論 .... 去光阻劑/光阻剝離劑, 樹脂溶劑、導電漿料溶 ... EKC-800, EKC-830, EKC-922, N-300, RNS-409,.
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