ekc溶劑

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ekc溶劑 相關參考資料
CN105551942A - 半导体晶圆蚀刻后的深孔清洗方法- Google Patents

本发明提供了一种半导体晶圆蚀刻后的深孔清洗方法,其包括:采用EKC溶液对刻蚀后的半导体晶圆进行第一次清洗,其中,EKC溶液为NMP溶剂和带有碱性的胺的 ...

https://patents.google.com

EKC是什么有机溶剂是什么成分组成的_百度知道

EKC是什么有机溶剂是什么成分组成的 10. RT. tq2404635 2010-04-02. 我要回答. 可选中1个或多个下面的关键词,搜索相关资料。也可直接点“搜索资料”搜索整个 ...

http://zhidao.baidu.com

創新的溶劑回收技術- GE&R吉能科技股份有限公司

高沸點的溶劑(去光阻劑/光阻剝離劑、樹脂溶劑等),例如ACT-935,EKC-162、EKC-265、EKC-800、EKC-830、EKC-922、N-300、RNS-409及TOK-106等,這些 ...

http://www.gers.com.tw

半導體業N-甲基吡咯酮(NMP) - Mac X-code Lab - AntoinetteOne 凡爾賽 ...

... 在fab裡, 只要是三個英文縮寫的chemical都要小心, ex, nmp, ipa, ekc, act,ebr, ... 而隨著國內光電及半導體產業成為國內之主流產業,作為泛用清洗溶劑的NMP, ...

http://jia621011.pixnet.net

台灣積體電路製造股份有限公司八廠 - 科技部新竹科學工業園區管理局 ...

降低EKC廢液及延長化學品生命週期方案,每年降低廢EKC溶劑28.8公噸。 CMP 研磨廢液減量,每年減少使用研磨液220,902公升。 取消Polyimide rework 專用槽, ...

http://saturn.sipa.gov.tw

清洗製程

膽鹼(蛋黃素,choline). – 第三級胺(teritary amine). • 溶劑:. – 異丙醇(isopropanol,isopropyl alcohol,IPA). – 乙醇(ethanol). – 三氯乙烯(trichloroethylene,TCE).

http://web.cjcu.edu.tw

聯華電子股份有限公司Fab8E廠 - 科技部新竹科學工業園區管理局園區 ...

延長換酸時間,降低EKC使用量, EKC solvent延長換酸, 11,213 kg/年EKC使用量 ... 低閃火點廢溶劑試驗計劃, 由廠商回收再製成塗料稀釋劑或香蕉水調配劑, 世全 ...

http://saturn.sipa.gov.tw

詳內文 - 環保簡訊 - 國立中央大學

光電及半導體廠的廢溶劑基本上以濃度區分為三種:(1)含高濃度廢溶劑廢水:其溶劑比例大於20%,回收價值高,可用蒸餾技術回收;(2)含中濃度廢溶劑廢水:其溶劑 ...

http://setsg.ev.ncu.edu.tw

高科技產業製程有機排氣高沸點VOCs有機溶劑回收技術討論

高科技產業製程有機排氣高沸點VOCs有機溶劑回收技術討論 .... 去光阻劑/光阻剝離劑, 樹脂溶劑、導電漿料溶 ... EKC-800, EKC-830, EKC-922, N-300, RNS-409,.

http://www.asip.org.tw